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버슘머트리얼즈, 차세대 반도체용 전구체 개발 기반 구축
반월공장 내 ADM 기술연구소 준공, 전구체 개발·분석·패키징 ‘토털 솔루션’
-수요기업 원하는 새로운 증착용 전구체 적기 개발·공급능력 강화, 투자 지속
버슘머트리얼즈 ADM 기술 연구소 개소식에서 기어모 노보 버슘머트리얼즈 CEO(左 여덟 번째), 유재운 버슘머트리얼즈코리아 대표(右 첫번째) 등이 기념 테이트를 커팅하고 있다.
세계적인 전자소재 전문기업 버슘머트리얼즈가 국내 반도체기업들의 차세대 반도체 개발에 필요한 증착용 전구체 소재를 적기 공급하기 위한 기반을 마련했다.

버슘머트리얼즈의 한국법인 버슘머트리얼즈코리아(대표 유재운)는 지난 29일 경기도 안산시 단원구에 위치한 반월공장에서 ADM(Advanced Deposition Materials:첨단 증착 소재) 기술연구소 준공식을 개최했다. 이날 준공식에는 기어모 노보 버슘머트리얼즈 CEO, 죤 랑간 버슘머트리얼즈 CTO, 유재운 버슘머트리얼즈코리아 대표, 남기만 반도체산업협회 부회장, 이수연 한양이엔지 부회장, 황철성 서울대 교수, 조현대 SEMI 대표 등 20여명이 참석했다.

현재 반도체산업의 미세화 및 3D로의 구조변경이 가속화되면서 이에 필요한 특수가스 및 첨단 신소재의 수요도 크게 늘어나고 있다. 특히 삼성전자, SK하이닉스 등을 필두로 세계 메모리반도체를 선도하고 있는 한국시장은 그만큼 세계적으로 중요한 소재시장으로서, 버슘머트리얼즈는 고객사의 요구에 적기 대응할 수 있는 능력을 강화하기 위해 전구체, CMP 슬러리 및 세정용 케미칼 부문 등 전 부문에 걸쳐 연구개발 및 생산 시설 확충을 위한 적극적인 투자에 나서고 있다.

이의 일환으로 약 800만달러(한화 약 90억원)를 투자, 반월공장에 1,500㎡규모로 구축된 ADM 기술연구소는 새로운 증착용 전구체를 보다 빠르게 테스트하고 고객사에 공급할 수 있도록 △시험용 샘플링 랩(Lab) △정제된 전구체 테스트용 플라즈마 원자층 증착장비 △분석실 및 전구체를 담는 콘테이너 분해·세적·조립 연구시설 △패키징 크린룸 등으로 구성됐다. 특히 철저한 안전관리를 위해 전체 시설을 카메라로 관찰하고 중앙에서 통제할 수 있는 시스템을 구축하는데도 상당한 투자를 했다.

전구체 생산시설이 기 구축된 반월공장은 이번 연구소 준공을 통해 명실상부한 차세대 반도체용 전구체 소재 전문시설로 거듭나게 됐다. 회사는 또한 내년까지 평택공장에 CMP슬러리 관련 기술 연구소도 설립할 계획이다.

유재운 대표는 “고객사의 믿음직한 파트너를 표방하는 버슘머트리얼즈는 지난 2년간 1천만달러 이상을 이번 프로젝트 및 관련 역량 확대를 위해 투자했으며 앞으로도 공급 능력 확충 및 선도적 기술 개발에 매진해 고객사와의 동반 발전은 물론 대한민국 경제발전 및 고용 창출에도 적극 기여하겠다”고 밝혔다.

한편 버슘머트리얼즈코리아는 시화·반월공장의 경우 전구체사업 및 특수가스에, 평택공장은 CMP 슬러리와 세정용 케미칼에, 버슘머트리얼즈 한양기공은 딜리버리 시스템에 특화하는 등 각각 전문성을 강화하고 있다. 또한 지난 4월엔 약 3,500만달러를 투자해 실리콘 기반 전구체 생산시설을 구축할 것이라고 발표한 바 있으며 내년엔 CMP 슬러리와 세정용 케미칼 증설에 나서는 등 향후 2년내에 한국에만 약 1억달러를 투자할 계획이다.

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신근순 기자 (shin@amenews.kr) [기자의 다른 기사보기]
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