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반도체용 특수가스社, 대만 공략
버슘·원익·린데·타이요닛폰산소 등 총출동
- 대만 유일 반도체 장비·소재展, 비즈니스 치열
(왼쪽 위 부터 시계방향으로)원익머트리얼즈, 린데, 에어리퀴드, 버슘머트리얼즈 부스 전경
반도체용 특수가스 글로벌 업체들이 대만에 총 집결 대만 반도체 파운드리 시장을 공략했다.

지난 9월13일부터 15일까지 대만 타이베이 난간 전시장에서 ‘세미콘타이완 2017’이 개최됐다.

이번 전시회에는 세계적인 반도체 특수가스 업체들이 전시장에 부스를 열고 대만 시장 공략을 위한 다양한 비즈니스 활동을 펼쳤다.

세미콘타이완은 대만에서 반도체 장비 및 소재 시장에서 가장 많은 구매자와 비즈니스 의사 결정권자에 다가 갈 수 있는 유일한 공간으로 대만의 주요 전자 제품 산업 구매 담당자들의 네트워킹 활동의 주 무대로 자리매김하고 있다. 이에 특수가스 업체들은 새로운 고객 창출을 위해 비즈니스에 주력하는 모습을 보였다.

이번 전시회에는 원익머트리얼즈, 버슘머트리얼즈, 린데, 리밍화공, 타이요닛폰산소, 인테그리스 등이 참가했다.

원익머트리얼즈는 N₂O(아산화질소), NH₃(암모니아), GeH₄(사수소화게르마늄), Si₂H6(디실란) 등 특수가스와 함께 실리콘(Si) 기반의 전구체인 ‘HCDS(Si₂Cl6)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 프리커서 ‘Cp-Zr’를 출품했다.

이들 전구체 제품은 최근 반도체 미세화공정화의 흐름과 3D 핀펫(FinFET) 등 신기술이 도입되면서 사용량이 급격히 증가하고 있고, 고객사의 수요도 다양화 되고 있다.

버슘머트리얼즈는 자사의 다양한 특수가스 공정을 소개했다. NF₃, WF6(육불화텅스텐), N₂O(아산화질소), C₄F6(육불화부타디엔), PH₃(포스핀) 등 특수가스와 박막 증착에 사용되는 전구체 물질 TEOS(사에틸 오르토실리케이트), TiCL4(사염화 티탄), LTO-520 등 초박형 유전체 및 금속막 전구체와 관련 배송장비를 출품했다.

버슘머트리얼즈는 반도체산업의 미세화 및 3D로의 구조변경이 가속화되면서 이에 필요한 특수가스 및 첨단 신소재 늘어나는 수요에 적극 대응하기 위해 지난 8월 한국 안산 반월 공장에 ADM(첨단 증착 소재) 기술 연구소를 준공한 바 있다.

린데는 F₂(불소), HCL(염화수소), N₂O(아산화질소), XeF₂(플루오르화크세논) 등 전자산업용 특수가스 제품군을 집중 소개했다.

미국 반도체용 특수가스 및 소재 기업인 인테그리스(entegris)는 전시회에서 대만 내 Hsinchu Technology R&D 센터 확장을 발표했다.

타이요닛폰산소도 중국 장수(Jiangsu) 지역에 도판 가스(H₂H₆), 에칭가스(CH₃), 믹스가스(SiH₄, Si₂H₆)의 생산 공장을 2019년까지 완료하겠다고 발표했다.

중국 국영화학업체 켐차이나 산하 리밍화공은 주요 산업가스 및 NF₃ 등 반도체용 산업가스 제품군을 소개하고, 중국 지역 공급망을 소개하기도 했다.

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배종인 기자 (jib@amenews.kr) [기자의 다른 기사보기]
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