에드워드가 부식성이 강한 반도체 제조 공정에 사용되는 진공 펌프의 핵심부품에 대한 새로운 부식방지 코팅기술을 선보인다.

진공 및 가스처리 솔루션의 세계 최대 생산업체인 에드워드는 새로운 부식방지 코팅기술인 XCEDE를 2월8일부터 10일까지 서울 코엑스에서 개최되는 세미콘 코리아 전시회에 참가해 선보인다고 밝혔다.

반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조에서 에칭·세정·증착 공정은 고온의 상태에서 부식성 물질을 사용하며 이러한 환경의 진공펌프는 높은 부식도를 가지게되며 기존의 화학적 또는 전기 화학적 코팅 공정은 제어하기가 어려워 부식이나 마모가 생기는 경우가 높다.

에드워드코리아는 “XCEDE의 기술력을 통해 향상된 부식 저항성은 결과적으로 제품의 고장시간을 감축하고 나아가 수명주기를 혁신적인 수준으로 연장시킨다”고 밝혔다.

XCEDE는 최첨단 시설을 갖춘 천안 생산공장에 새로 설치된 전자 자동화 방식 이중 코팅 솔루션으로, 최고 품질과 제어를 보장한다. 에드워드 코리아는 이미 다방면의 테스트를 거쳐 XCEDE 코팅 솔루션의내구성과 제품수명증대 능력을 검증한 바 있다.

이러한 XCEDE 코팅 솔루션은 신규 iXM, iXH 펌프 시리즈의 생산에 적용될 예정이며 기존 생산된 제품에도 적용, 제품 업그레이드 역시 가능하다.

에드워드 코리아의 이성민 대표이사는 “XCEDE는 고객의 문제에 대하여 높은 수준의 응용지식과 혁신적 방식으로 접근하는 에드워드의 차별화된 솔루션을 매우 잘 보여주는 신규 기술”이라며 “이 기술을 통해 우리는 펌프 수명주기를 혁신적인 수준으로 연장시켰으며 예기치 못한 제품의 고장까지도 방지할 수 있다”라고 덧붙였다.