▲ 버슘 머티리얼즈 부스 전경.

버슘 머티리얼즈(Versum Materials)가 에어프로덕츠에서 분사된 후 국내에서는 처음으로 버슘 머티리얼즈란 이름으로 전시회에 참가하며 전자 소재 시장에 그 이름을 각인시켰다.

버슘 머티리얼즈는 2월8일부터 10일까지 서울 삼성동에서 개최된 ‘세미콘코리아 2017’에 참가했다.

이번 전시회에서 버슘 머티리얼즈는 반도체 및 전자산업에서의 공정용 소재인 NF₃(삼불화질소), SiF₄(사플루오르화 탄소), N₂O(아산화질소) 등 특수가스와 관련 공급 장비를 출품했다.

또한 신소재 사업분야인 박막 증착에 사용되는 전구체 물질 TEOS(사에틸 오르토실리케이트), TiCL4(사염화 티탄), 특수케미칼 LTO-520 등을 소개했다.

버슘 머티리얼즈는 주요 반도체 시장인 한국에서 투자 확대를 통해 연구개발을 강화하고 제품군 확대에 적극 나서고 있다.

지난해 10월에는 SK하이닉스, 램 리서치와 공동으로 ‘인공신경망 반도체 소자 공동 연구개발’에 나서기도 했다.