▲ 투자협약을 맺은 남경필 지사와 버슘머트리얼즈 에드워드 쇼버 수석부회장이 기념촬영에 응하고 있다..

세계적인 반도체용 케미컬 및 특수가스기업 버슘머트리얼즈가 경기도 시화공단에 실리콘(Si)기반 전구체(Precursor) 생산공장을 신설한다.

버슘머트리얼즈와 경기도는 최근 투자유치 MOU를 체결했다.

이번 협약에 따라 버슘머트리얼즈는 경기도 시화공단에 3,500만달러(FDI)를 투자하고 실리콘(Si) 기반 전구체 생산, R&D 등을 포함한 반도체용 특수케미컬 공장을 신설한다.

내년 1월부터는 삼성전자와 SK하이닉스, 인텔 등에 공급한다는 계획이다.

버슘머트리얼즈사는 고집적 메모리반도체 등 차세대 반도체 제조공정에서 필요한 핵심 물질을 제조하는 글로벌 기술기업이다.

지난 2016년 10월 에어프로덕츠에서 분사했으며, 북미 및 아시아에 10개 생산시설을 구축했으며, 매출은 10억달러, 임직원 수가 1,900명에 달한다.

NF₃(삼불화질소), WF6(육불화텅스텐), N₂O(아산화질소), C₄F6(육불화부타디엔), PH₃(포스핀) 등 특수가스와 박막 증착에 사용되는 전구체 물질 TEOS(사에틸 오르토실리케이트), TiCL₄(사염화 티탄), LTO-520 등 초박형 유전체 및 금속막 전구체 등을 생산, 취급하고 있다.

이번 투자와 관련해 경기도는 400여명의 직간접 고용도 창출될 것으로 보고 있으며, 국내 반도체 산업의 발전에 기여할 것으로 전망하고 있다.

남경필 경기도 지사는 “오늘 MOU 체결까지 한국, 대만, 미국의 여러 곳이 경쟁했는데, 경기도를 선택한 것에 감사하다”며 “경기도 차원에서 할 수 있는 모든 뒷받침을 할 계획으로 이번 투자 이후에도 더 많은 투자를 해야겠다는 생각이 들도록 하겠다”고 말했다.