도시바와 교세라가 반도체용 세라믹부품 개발에 나선다.

도시바 머티리얼 주식회사는 교세라 주식회사와 질화물 세라믹 부품의 개발·제조에 관한 본격적인 협업 시작에 합의했다고 지난 7일 밝혔다.

최근 자동차와 기차 같은 이동수단에서의 에너지 절약에 대한 대응 요구가 높아지는 가운데 전력 반도체의 절연부품으로 열전도성과 기계적 특성이 우수한 질화물 반도체 세라믹스에 대한 수요가 확대되고 있다. 반도체 제조 장치에 있어서도 반도체 제조 공정의 정밀 온도 제어화나 고온화에 따라 질화물 세라믹의 채용이 진행되고 있다.

양사는 이번 협력을 통해 도시바 머티리얼이 보유한 질화물 세라믹 관련 재료 기술과 교세라가 가진 세라믹 특수 가공 기술을 융합시켜 고방열 특성을 가진 파워 반도체용 부품 및 고온에서의 정밀 온도 제어가 가능한 반도체 제조 장치용 부품 등 고기능 부품을 개발해 세라믹시장에서 경쟁력을 확보한다는 계획이다.

지난 2014년부터 양사는 전력 반도체와 반도체 제조장치용 부품에 대한 공동 개발을 진행하고 있다.

양사는 “합의에 따라 양사는 설비 투자의 공동 실시, 작업 팀을 구성해 개발·제품화를 촉진함과 동시에 양사의 시너지에 의한 새로운 협업의 가능성을 검토할 것”이라 밝혔다.