가스 및 엔지니어링 전문 회사인 린데그룹(The Linde Group)이 희귀가스 분야의 주도적인 공급업체로서 전자업계의 증가하는 희귀가스 수요를 충족하기 위해 자체 생산을 위해 계속 투자하고 있으며, 외부 공급원 포트폴리오 다각화에도 힘쓰고 있다.

린데그룹은 최근 보도자료를 통해 극저온 공학기술과 산업용 가스사업 경험을 갖춤과 동시에 희귀가스를 생산하는 공기분리기(ASUs, Air Separator Units)를 35대 이상 보유하고 네온, 제논 등 전자산업용 희귀가스 공급을 주도하고 있다고 밝혔다.

린데그룹은 극저온 공학기술과 장비 제작을 비롯하여 희귀가스 공급에 필요한 모든 단계에 역점을 두고 개발하고 있으며, 이러한 기술을 통해 희귀가스 공급 능력을 확장하고 있다.

또한 각 생산 및 공급 단계를 모두 직접 관리해 고객에게 최고 품질의 제품과 신뢰를 제공한다.

린데그룹의 희귀가스 사업 기술은 △공기분리기(ASU)와 희귀가스 추출 장비의 설계 및 제조 △광범위하고 다각화된 희귀가스 공급원 보유 △주요 리소그래피(Lithography)에 공정 사용되는 대량의 가스 혼합 기술 △네온, 크립톤과 제논 정제 기술 △전자업계의 새로운 희귀가스 응용분야에 대비한 신제품 개발 등이다.

주요 품목별로 살펴보면 네온 가스는 원자외선(deep UV) 멀티 패턴 리소그래피와 기타 엑시머 레이저 응용기술에 사용되는 네온의 수요 증가를 인지해 동사의 유럽 공급망을 강화하고 정제기술을 강화했으며 자체 생산과 외부 공급원으로 구성된 복합 포트폴리오를 관리하고 있다.

더불어 새로운 3D 반도체 공정의 에칭(Etching) 응용기술에 상용되는 제논의 대량 공급을 위해 미국 뉴저지주 알파 공장의 제논 확장 프로젝트를 이번 분기 내에 완료 예정이다. 또한 린데그룹은 3개 대륙에 걸쳐 제논 공급원을 확보하고 있으며 안정적으로 공급량을 확대하고 있다.

또한 반도체 산업에 심자외선(DUV, Deep Ultra Violet) 레이저 가스를 주도적으로 공급하고 있다. 주요 리소그래피 제조사와 세계 최대 반도체 제조업체는 미국 뉴저지주 알파 공장의 레이저 가스센터에서 개발한 혁신적인 신기술과 우수한 제품을 공급받고 있다. 관련한 사업 기술로는 △불소를 포함한 모든 레이저 가스 생산 △최적화되고 확장 가능한 분리 및 정제 설비 △정밀하고 정확한 가스 혼합 및 분석 기술 △실린더 포장 전문 기술(희귀가스 혼합물과 불소의 실린더 처리를 위한 독자적 기술) 등이다.

린데그룹 미국지사의 매트 아담스(Matt Adams, 전자 및 특수가스 영업마케팅사업부 총괄)는 “린데그룹은 1년 전 텍사스주 라포르테 공장에 네온 생산설비를 설치해 생산능력을 4,000만리터까지 확대한다고 발표한 바 있다”며 “지속적인 사업 확장의 일환으로 오리건주 메드포드 공장의 희귀가스 처리 기술도 개발하고 있다”고 말했다.

린데일렉트로닉스 안드레아스 바이사이트(Andreas Weisheit, 사업총괄)는 “린데그룹은 전 세계의 자체 생산 공장에 지속적인 투자를 이어갈 것이며, 동시에 외부 공급원의 공급량 확대에도 힘쓸 것이다. 또한, 린데그룹은 업계 선두의 외부 공급원 포트폴리오와 수직통합 공급망 기능의 결합을 통해 전자산업 내 유일한 희귀가스 공급사로 자리매김할 것이다”고 말했다.