▲ 미코가 새로 출시한 본딩장비용 히터.

국내 반도체 생산장비 핵심부품 및 세정·코팅 전문기업 ㈜미코(회장 전선규)가 반도체산업 호황으로 수요가 늘고 있는 세라믹 소재부품 개발 및 증설에 박차를 가하고 있다.

미코는 국제반도체장비재료협회(SEMI) 주관으로 지난 1월31일부터 2월2일까지 삼성동 코엑스에서 열린 ‘세미콘 코리아 2018’에 부스를 마련하고 자사의 주력 제품인 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD)용 세라믹 히터(AlN Heater)와 세라믹 정전척(ESC), 본딩장비용 히터 등을 선보였다.

현재 반도체 시장은 D램, 낸드 등 메모리반도체시장은 폭발적으로 늘어난 모바일용 수요로 인해 호황을 거듭하고 있다. 특히 삼성전자 등 반도체 선도기업들이 10나노 이하 반도체 미세화 공정에 진입하면서 반도체 장비수요도 크게 늘면서 관련 소재부품의 수요도 함께 급증하고 있다. SEMI에 따르면 2017년 전세계 팹 장비 투자액은 전년대비 41% 증가한 570억 달러로 역대최대를 기록했는데 올해는 전년대비 11% 증가한 630억달러로 기록을 경신할 전망이다. 삼성전자는 팹 장비 투자액을 2017년 80억 달러에서 180억달러로 128%나 증대할 것으로 예상되고 있다.

이날 미코는 신제품인 본딩장비용 히터를 선보였다. 이 제품은 메모리반도체를 적층하는 패키징 공정에 필요한 부품으로 400℃의 열을 내 칩을 쌓게 돕는다. 현재 한미반도체 최신 장비에 공급되고 있다.

미코의 세라믹 히터는 지난 2011년 국내 최초로 국산화된 제품으로 삼성전자 1차 벤더인 원익IPS, 대만 TSMC 등에 공급되며 국내외에서 기술력을 인정받고 있다. 특히 회사는 열선이 중간과 바깥부분에 두군데 설치돼 있어 발열시 온도편차가 거의 없는 ‘Two Zones’이라는 세라믹 히터를 개발하며 주목받았다.

에칭공정 정전기 방지용으로 사용되는 세라믹 ESC(정전척)도 자체 국산화한 세라믹 시트를 활용한 제품으로 지난 2004년 국내 최초로 국산화에 성공했다. 주력제품인 300㎜ ESC외에도 200㎜ ESC도 교체수요로 인해 매출이 꾸준히 늘고 있다.

미코는 올해 안성공장 부지를 추가로 확보하고 증설에 나선다는 계획이다. 이곳에서는 세라믹 히터 등이 생산될 것으로 알려지고 있다.

한편 미코는 신성장아이템으로 세라믹 소재부품의 주요 수요처이자 시장 성장세가 기대되는 친환경 수소연료전지 사업에도 집중하고 있다. 회사는 지난 2011년부터 경동나비엔과 함께 2.5㎾급 SOFC(고체산화물 연료전지)시스템과 단전지 및 스택을 개발 완료했으며 사업화를 진행중이다. 오는 2월28일부터 일본 빅사이트에서 열리는 FC EXPO(수소연료전지 박람회)에도 출품해 기술력을 뽐내고 비즈니스를 모색할 계획이다.