▲ (왼쪽)최용하 코미코 대표이사, 장성수 코미코 우시법인장이 미코 부스에서 세라믹 히터, 본딩 장비용 히터 등을 소개하고 있다.

국내 반도체 생산장비 핵심부품 및 세정·코팅 전문기업 미코(회장 전선규)가 중국 시장에 기술력으로 인정받은 ‘세라믹 히터’ 등 반도체 소재 기술을 선보였다.

미코는 지난 3월20일부터 22일까지 중국 상하이 상하이신국제엑스포센터(SNIEC)에서 개최된 세미콘차이나(SEMICON CHINA) 2019에 참가했다.

이번 전시회에서 미코는 자사의 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD)용 세라믹 히터(AlN Heater)와 세라믹 정전척(ESC)과 세정·코팅 솔루션을 선보였다.

미코는 10년간 갖은 고생 끝에 지난 2011년 국내 최초로 수입에 의존하던 세라믹 히터를 국산화하고 삼성전자 1차 벤더인 원익IPS, 대만 TSMC 등에 공급했으며 지금까지 누적 판매량이 2천대를 돌파할 정도로 국내외에서 기술력을 인정받고 있다.

특히 열선이 중간과 바깥부분에 두군데 설치돼 있어 발열시 온도편차가 거의 없는 ‘Two Zones’이라는 세라믹 히터를 개발하며 주목받았다.

본딩장비용 히터는 메모리반도체를 적층하는 패키징 공정에 필요한 부품으로 400℃의 열을 내 칩을 쌓게 돕는다. 한미반도체가 최근 SK하이닉스에 공급한 최신 장비인 ‘실리콘 관통전극(TSV) 듀얼 스태킹 TC본더’에 탑재된 바 있다.

에칭공정 정전기 방지용으로 사용되는 세라믹 ESC(정전척)도 자체 국산화한 세라믹 시트를 활용한 제품으로 지난 2004년 국내 최초로 국산화에 성공했다. 주력제품인 300㎜ ESC외에도 200㎜ ESC도 교체수요로 인해 매출이 꾸준히 늘고 있다.

지난 2017년에는 강릉 과학산업단지에 제2공장을 준공하며 세라믹 히터 생산을 확대해 해외 시장을 적극적으로 공략하고 있다.

한편 미코는 신성장아이템으로 세라믹 소재부품의 주요 수요처이자 시장 성장세가 기대되는 친환경 수소연료전지 사업에도 집중하고 있다.

지난 2008년부터 SOFC 개발을 시작해 관련 소재(슬러리·페이스트·파우더), 스택, 시스템 등 토털솔루션 기술을 확보했다. 이를 통해 자체기술로 2kW급 SOFC 시스템인 ‘TUCY’ 개발을 완료했다.

제품 인증을 완료했으며, 건물용 시스템 시장 진입을 시작으로 나아가 발전사업자로 나서 전력판매에 직접 나선다는 계획을 갖고 있다.