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  • 기사등록 2022-07-01 13:27:52
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에코프로에이치엔(EcoProHN)은 삼성엔지니어링과 약 400억원 규모의 온실가스 저감 설비(Reaction Control System) 공급계약을 체결했다고 지난 30일 밝혔다. 계약금액은 지난해 에코프로에이치엔 총 매출액의 약 44%에 해당한다.

 

이번 계약은 에코프로에이치엔의 온실가스 감축 솔루션 사업 부문 중 대용량 촉매식 PFCs(과불화화합물) 처리 설비(RCS)에 대한 공급 계약이다.

 

PFCs6대 온실가스 중 지구온난화 계수(GWP)가 상대적으로 높은 온실가스(GWP 9,200, 이산화탄소 대비 온실가스 효과 9,200)로 반도체, 디스플레이 산업공정에서 주로 발생한다.

 

에코프로에이치엔의 PFCs 처리 설비는 반도체 공정 중 핵심 공정인 에칭공정(Etching)에서 사용되는 PFCs를 에코프로에이치엔만의 독자적인 촉매식 대형 온실가스 감축 기술로 제어하는 장비이다.

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