▲ 솔머티리얼즈 오창 특수가스 사업장에서는 HBr(브롬화수소)를 비롯한 GeH4(저메인), Si2H6(디실란) 등 다양한 반도체용 특수가스가 생산되고 있다.

한솔케미칼의 자회사이자 반도체·디스플레이 특수가스 전문기업 ㈜솔머티리얼즈(대표 허지행)가 반도체 산업에서 수요가 늘고 있는 브롬화수소(Hydrogen bromide, HBr)의 생산 확대를 위해 신규 투자에 나선다.

㈜솔머티리얼즈는 충북 청주시 오창 사업장에 연산 500톤 규모의 반도체용 HBr 신규 공장을 설립할 계획이다. 올해 안에 공장을 완공하고 시 운전을 거쳐 본격 생산하는 것이 목표다.

HBr은 브로민과 수소의 화합물로 부식성이 있고 불연성인 무색 기체다. 반도체 공정에서는 기상에칭(식각)용으로 사용되는데 반도체의 고집적화 및 고단화로 인해 사용량이 늘고 있는 핵심 특수가스로 주목받고 있다. 그러나 현재 대부분 일본 등에서 수입에 의존하고 있으며 국내에서의 생산량은 미미한 수준이다.

이에 솔머티리얼즈는 반도체 업계의 개발 요구에 발맞춰 HBr 국산화를 추진하게 됐다. 특히 기존 국내 대부분의 HBr 생산 공장이 정제 수준에 머물러 있는 것에서 한 걸음 나아가 가스반응 공정까지 추진하면서 경쟁력을 갖추게 됐다.

솔머티리얼즈는 HBr 생산이 본격화되면 매출 증대는 물론 고품질 특수가스 국산화를 통한 세계 첨단 화학소재 기업으로 도약하는 신호탄이 될 것으로 기대하고 있다.

회사 관계자는 “세계 각국의 반도체 패권 전쟁이 치열해지면서 반도체 소재 공급망 안정화가 무엇보다 시급한 상황에서 특수가스 국산화를 통해 국가 반도체 산업 발전에 이바지 할 수 있도록 적극 노력하겠다”고 밝혔다.

한편 솔머티리얼즈는 지난 2020년 2월 한솔케미칼이 반도체 패키징 및 소재부품 업체인 하나마이크론으로부터 특수가스부문 사업장을 인수해 설립됐다. 한솔케미칼은 자회사인 삼영순화를 통해 습식 에칭에 사용되는 초고순도 과산화수소를 반도체 업계에 공급하고 있었는데 솔머티리얼즈 인수를 통해 반도체 에칭제 부문을 건식에칭 부문으로 늘려 포트폴리오를 다변화하고 있다.

오창에 위치한 특수가스 사업장에서는 Si2H6(디실란), NO(산화질소), CF4(사불화탄소) 등 에칭·증착공정에 필요한 정제가스와 함께 혼합가스 제품군으로 △PH3(포스핀) Mix △Si2H6(디실란) Mix △GeH4(저메인) Mix △ Lazer(레이저) Mix △H2(수소) Mix △SiH4(모노실란) Mix △TMB (트리메틸 붕소) Mix △엑시머레이저 혼합가스 등 반도체 및 디스플레이 공정용 특수가스가 생산되고 있다.

솔머티리얼즈는 반도체 산업의 미세공정 및 증설에 맞추어 특수가스 국산화에 투자를 아끼지 않고 있다. 특히 코로나19와 러우 전쟁 등으로 글로벌 공급망이 교란되면서 국내 반도체 및 디스플레이 업계에 필요한 특수가스를 적기 공급할 수 있는 솔머티리얼즈는 성장의 발판을 마련하게 됐다.

솔머티리얼즈는 특수가스의 품질관리와 안전 공급에도 만전을 기하고 있다. 주요 품질 및 환경안전 관련 인증인 ISO9001 Quality Management System, ISO14001 Environment Management System, ISO 45001 Health & Safety Management System 등을 획득했으며, 공장 내에서 모든 생산가스 분석 및 관리를 일괄적으로 할 수 있는 클린룸, 흄 후드, 분석 시스템 등을 구축했다.