▲ SK머티리얼즈 임민규 대표.

SK머티리얼즈가 반도체용 특수가스 기술을 업계에 과시했다.

SK머티리얼즈는 2월8일부터 10일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최되는 ‘세미콘코리아 2017’에 참가했다.

이번 전시회에서 SK머티리얼즈는 자사의 주력 품목인 NF₃(삼불화질소), SiH₄(모노실란), WF₆(육불화텅스텐), SiH₂Cl₂(디클로로실란), Si₂H₆(다이실란) 등 반도체, LCD패널, 태양광전지 제조공정에 사용되는 특수가스를 선보였다.

NF₃는 암모니아(NH₃)와 불소(F₂)를 고온·고압 하에서 반응시킨 후 추출 및 정제하며 순도를 높이는 방식으로 생산되는 특수가스로 반도체, LCD 및 태양전지 CVD 챔버내 세정에 사용되고 있다. 안정성이 뛰어나고 수송과 저장이 용이해 반도체·디스플레이 공정에서 널리 사용되고 있으며 반도체 미세화 공정에 따라 수요가 크게 늘어나고 있다. SK머티리얼즈는 세계 최대의 생산 캐파(연산 8,600톤)를 보유하고 있으며 현재 2,500톤 추가 증설을 추진 중이다.

WF₆는 반도체 배선형성 공정에 사용되며, SK머티리얼즈는 250톤의 생산능력을 보이고 있다.

SiH₄, SiH₂Cl₂, Si₂H₆ 등 실란제품 3종은 주로 특수 공정인 고도의 하이테크 반도에 제품에서 전기가 통하지 않게 차단하는 절연막에 주로 사용된다.

SiH₄는 반도체나 LCD 또는 박막태양전지 제조상의 CVD에 사용되는 특수가스로 실란제품 3종 중 가성비가 훌륭해 반도체 및 디스플레이 공정에 가장 많이 쓰인다.

SiH₂Cl₂은 CVD 공정에서 암모니아와 결합해 사용되는 실리콘 전구체 가스로 SiH₂Cl₂는 애피텍셜 실리콘 증착을 위해서도 사용된다.

Si₂H₆은 반도체 미세화 공정에서 박막 증착 시 저온, 고속으로 균일한 막질 형성에 사용된다.

SK머티리얼즈는 지난해 3D 낸드용 특수가스 수요 증가와 반도체 미세화에 따른 수요 증가에 따라 전년대비 30% 이상의 고성장을 기대했다.

올해도 반도체 시장의 긍정적인 전망에 힘입어 관련제품의 수요가 꾸준히 늘어나고 있는데다 특히 품목 다변화를 위해 최근 일본 소재회사와 잇따라 합작법인을 세우면서 매출 향상이 기대되고 있다. 회사는 최근 일본 트리켐사와 반도체용 전구체 제조판매 합작법인 SK트리켐을 세종시에 설립했다. 또한 일본 쇼와덴코와 함께 SK쇼와덴코를 설립, CH₃F 등 반도체 및 디스플레이용 식각가스 사업을 영주 공장에서 추진할 계획이다.