Update2024.04.26 (금)
국내 반도체 생산장비 핵심부품 및 세정·코팅 전문기업 ㈜미코(회장 전선규)가 국내외 반도체산업 호황에 대비해 적극적인 투자에 나서고 있다. 3월23일에는 자회사인 세정·코팅 전문기업 코미코(대표 김태룡)를 코스닥에 상장하고 공모자금을 투자로 연계시키는 등 세계적인 반도체 소재부품 회사로 거듭난다는 계획이다.
미코는 국제반도체장비재료협회(SEMI) 주관으로 지난 3월14일부터 16일까지 상하이 New International Exhibition Centre(SNIEC)에서 열린 ‘세미콘 차이나(SEMICON CHINA) 2017’에 부스를 마련하고 자사의 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD)용 세라믹 히터(AlN Heater)와 세라믹 정전척(ESC)과 세정·코팅 솔루션을 선보였다. 중국의 ‘반도체굴기’로 급성장하고 있는 중국 반도체 및 디스플레이 시장을 세분화해 공략하기 위해 미코와 자회사인 코미코는 따로 부스를 설치했다.
현재 반도체 시장은 D램, 낸드 등 메모리반도체시장은 폭발적으로 늘어난 모바일용 수요로 인해 지난 2012년부터 2018년까지 연평균성장률이 각각 27.5%, 37% 증가할 것으로 예상되고 있다. 또한 인공지능(AI)과 로봇, 사물인터넷(IoT)이 주축이 되는 제4차 산업혁명 시대가 도래하면서 성능이 향상된 반도체 칩의 수요가 더욱 늘어나면서 반도체 호황이 이어질 것으로 관측되고 있다. 특히 중국이 오는 2025년까지 1,500억달러(약 175조원)를 투자해 자국산 반도체 비율을 70%로 끌어올리겠다는 반도체굴기를 추진하고 있으며 세계 반도체 기업들인 10나노 이하 반도체 미세화 공정에 박차를 가하면서 반도체 장비는 물론 관련 소재부품의 수요도 크게 늘 전망이다.
전시회 기간에 부스에서 만난 전선규 회장은 “반도체 경기 호황에 대비해 올해 상반기에만 코미코 코스닥 상장과 중국 세정·코팅 공장 증설, 경기도 파주 열처리 특수코팅 공장 신설, 강릉 세라믹 히터·ESC 공장 증설 등이 계획돼 있다”고 밝혔다.
우선 반도체 세정·코팅 전문 자회사인 코미코가 3월23일 4년만에 코스닥에 상장한다. 코미코는 고가의 반도체 생산장비 부품을 세정·코팅해 장비수명을 연장시키고 공정수율을 높이는 사업을 국내 최초로 시작한 기업으로서 삼성전자. SK하이닉스, 인텔, TSMC 등 세계 내로라하는 기업들에게 관련 솔루션을 공급하고 있다.
코미코 공모가는 1만3000원, 액면가 500원으로 청약경쟁률이 745.4:1을 기록할 정도로 일반투자자들로부터 기업의 기술과 성장성을 인정받고 있다. 회사는 이번 상장으로 275~325억원의 자금을 조달해 코미코 대만 세정공장 및 중국 세정·코팅 공장 증설, 파주 열처리 특수공장 신설 등을 추진할 계획이다. 신규사업인 파주 열처리 공장은 오는 5월경 공식적으로 가동된다.
강릉 과학산단에 위치한 미코 강릉공장에서는 미코의 주력제품인 세라믹 히터·ESC를 생산하는 제2공장 증설이 5월 완료된다. 세라믹 히터는 반도체 공정 중 챔버 내에서 웨이퍼를 증착할 때 챔버의 온도를 균일하게 유지하는 역할을 한다.
미코는 10년간 갖은 고생 끝에 지난 2011년 국내 최초로 수입에 의존하던 세라믹 히터를 국산화하고 삼성전자 1차 벤더인 원익IPS, 대만 TSMC 등에 공급했으며 지금까지 누적 판매량이 2천대를 돌파할 정도로 국내외에서 기술력을 인정받고 있다. 특히 열선이 중간과 바깥부분에 두군데 설치돼 있어 발열시 온도편차가 거의 없는 ‘Two Zones’이라는 세라믹 히터를 개발하며 주목받았다.
에칭공정 정전기 방지용으로 사용되는 세라믹 ESC(정전척)도 자체 국산화한 세라믹 시트를 활용한 제품으로 지난 2004년 국내 최초로 국산화에 성공했다. 주력제품인 300㎜ ESC외에도 200㎜ ESC도 교체수요로 인해 매출이 꾸준히 늘고 있다.
전선규 회장은 “중국 반도체 장비 시장이 커지면서 회사의 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD)용 세라믹 히터(AlN Heater)와 세라믹 정전척(ESC)에 대한 문의가 쇄도하고 있다”며 “이러한 과감한 투자를 바탕으로 세계적인 반도체 소재부품 기업으로 도약하는 기반을 마련하겠다”고 밝혔다.
한편 미코는 신성장아이템으로 세라믹 소재부품의 주요 수요처이자 시장 성장세가 기대되는 친환경 수소연료전지 사업에 집중하고 있다. 회사는 지난 2011년부터 경동나비엔과 함께 2.5㎾급 SOFC(고체산화물 연료전지)시스템과 단전지 및 스택을 개발 완료했으며 사업화를 진행중이다. 의료기기용 부품시장도 신규 아이템 중 하나인데 지멘스와 전력적 제휴를 맺고 초음파 진단 영상기 송수신 부품(UTC)을 공급 중이다.
이밖에도 전선규 대표는 국내 세라믹 소재부품 산업계의 발전을 위해 지난 2013년부터 한국파인세라믹스협회장을 맡아 활동 중이다.
