세계적인 산업가스 메이커인 에어리퀴드가 반도체 공정에 쓰이는 트리실릴아민(TSA:Trisilylamine) 생산공장을 국내에 건설함에 따라 최근 강화하고 있는 반도체 케미컬 사업부문이 탄력을 받게 됐다.

에어리퀴드는 최근 반도체 및 태양광 특수소재 제조기업인 미국 볼텍스(Voltaix)와 함께 미국과 한국에 TSA 생산공장을 건설한다고 최근 밝혔다.

TSA는 반도체 위에 실리콘을 증착하기 위해 사용하는 물질로 20나노 이하급 차세대메모리 생산공정에 적용되며 그 사용량이 급격히 늘어날 것으로 전망되고 있는 신소재다.

국내 TSA 공장은 충남 연기군에 건설될 예정이며 약 100억원이 투자될 예정이다. 볼텍스는 TSA 제조를 맡고 에어리퀴드는 전량을 공급받아 고순도로 정제해 판매하게 된다. 공장 건설기간은 1년에서 1년6개월 정도 소요될 예정이며 한국 공장은 미국 공장의 운영 결과를 고려해 지어질 계획이다.

이로써 에어리퀴드는 회사의 원자층 증착(ALD) 및 화학기상증착(Chemical Vapor Depositon, CVD) 전구체 및 소재 솔루션 라인업을 일컫는 브랜드인 ‘ALOHA™’를 한층 강화하게 됐다.

에어리퀴드 전자사업부 프란시스코 마틴 부사장은 시스코 마틴은 “양 회사의 이번 TSA공급망 구축 협력은 반도체 업계가 환영할 일”이라며 협력관계를 더욱 공고히 할 것임을 밝혔다.

이에 볼텍스의 피터 스미스 최고 경영자는 “독특한 특성을 가진 TSA는 많은 어플리케이션에 적용할 수 있는 물질”이라며 “ALD 및 CVD 공정과 전구체(Precursor)에 경험과 전문성을 갖춘 에어리퀴드와 파트너가 된 것은 행운”이라고 말했다.