제독장치 성능과 유지관리

공급설비 및 소비설비에 관계된 제독설비의 처리 능력은 저압부의 최대 배관의 전면파탄에 의해 누출되는 가스양을 처리할 수 있는 능력으로 규정하고 있다. 누출량에 있어서는 가스누출검지경보설비와 긴급차단장치 등이 연동하고 있는 경우에 하류측의 가스 보유량과 3분간의 누출량의 합으로, 연동하지 않는 경우에는 15분간의 누출과 긴급차단장치 등으로부터 하류측의 가스보유량의 합계로 되어 있다. 실린더 캐비닛 또는 청정실내에 확산한 가스농도가 폭발하한계의 1/4를 넘지 못하게 하는 배기설비가 필요하다. 또, 처리설비의 능력은 짧은 시간 이내로 누출한 실내가스를 허용농도 이하로 하여야 한다.

반도체산업에 있어서 많은 경우, 공정 배기의 정상상태에 있어서의 유량은 비교적 적다. 또한, 공정 가스 사용량은 기기에 의해서 정해지고 있다. 배기 중에는 그 모든 가스가 누출된다고 가정해야 한다. 초저온 펌프 또는 콜드트랩(cold trap)등 독성가스를 트랩하는 기기를 비치하고 있는 경우에는 그 정지 또는 제독장치의 가동 시에 예측하지 않은 대량의 가스가 도입되는 경우가 있다. 이러한 경우에는 제독장치가 급격한 온도상승 등 과부하를 경험한다. 초저온 펌프 등의 승온은 급격히 일어나서는 안된다. 가능하면 가스가 축적되지 않은 진공펌프(기압양수기)를 쓰는 것이 바람직하다. 또한, 진공펌프(기압양수기)는 오일 중에 사용한 독성가스가 일부 용해하고 있기 때문에 초기 배기 시에는 용해된 가스가 방출되어 정상 때의 배기보다 처리장치의 부하가 크게 된다. 배기 배관은 동반되는 분체가 퇴적되므로 유지보수는 중요하다. 무정형의 실리콘 및 화합물 반도체 제조 장치에는, CVD, 이온 주입, 에칭 등의 공정과 비교하여 배출량이 많다.

반도체공정, 진공펌프 사용 바람직

제독설비 年 1회 정기점검 필수

용기 저장소의 제독설비는 누출조건이 1atm·cc/sec인 경우의 제독능력은 비교적 작은 설비로도 가능하다. 또한, 누출량은 최대충전 용량의 100%이다. 그러나 용기 저장소에 확산된 가스를 처리하기 위해서는 비교적 큰 유량의 설비가 필요하다.

제독설비는 적당한 강도를 가져야하며 제독에 사용하는 제독액, 제독제에 유해성분을 함유할 때는 외부로 누출, 비산 등이 되지 않도록 조치를 강구해야 한다.

가연성가스의 함유, 발생이 우려될 때는 공기, 산소 등에 의한 폭발재해를 방지하는 조치를 마련해야한다.

■제독설비의 유지관리

제독설비는 설비능력의 유지 및 가스누출검지경보기와의 연동 기능 확인을 위하여 다음과 같은 주기적인 점검 및 확인을 실시해야 한다. △설비 능력의 유지를 위해 일상점검을 실시할 것 △설비 능력의 유지를 위해 연 1회 이상 정기적으로 수리점검을 실시할 것 △가스누출검지경보기와의 연동에 의한 설비는 월 1회 이상 연동기능을 확인할 것 △제독설비의 능력을 유지하기 위하여 설비규모에 맞도록 일상점검표를 작업관리자가 작성하여 실시할 것 △동 설비에 종사하는 작업원에게는 취급수순, 점검사항, 안전대책에 관하여 정기적으로 교육훈련을 실시할 것 △동 설비의 정기점검, 정기수리는 설비에 정통한 자에 의해 실시할 것 등이다.