Update2024.05.02 (목)
특수가스 안전처리, 기본은 교육
최근 반도체 산업 및 디스플레이 산업이 발달하면서 산업체에서 사용하는 가스의 종류 또한 다양해져서 이전에 사용하지 않던 많은 가스들이 사용되고 있다. 폐가스 방치, 잠재적 위험
하지만, 이러한 가스들의 사용에 앞서 물질에 대한 명확한 특성을 알고 다뤄야 사고를 예방 할수 있다.
산업용가스는 가스별 여러 특성을 가지고 있다. 연소성의 의해 가연성가스, 조연성가스, 불연성가스 등으로 분류되며 독성에 의한 분류로는 독성과 비독성가스가 있다.
특히 특수가스(Specialty Gases)는 독성, 가연성 및 폭발성의 화학적 특성을 지닌 물질들이 많다.
따라서, 이러한 가스들을 사용하거나 사용하고 난 후 비반응 가스를 처리하는 것은 아주 중요한 부분이다.
다행히도 특수가스를 사용하는 반도체 및 LCD, LED 제조회사들은 대부분 대기업이며 이러한 위험성을 알기에 반응 후 발생하는 폐가스처리에 엄청난 투자비용을 소요하고 있다. 하지만, 아직도 일부 대학교연구소나, 기타 연구기관들에서는 이러한 설비를 보유하고 있지 않고 있으며 폐기처리를 해야 할 가스들이 처리되지 않고 방치돼 있는 것이 현실이다. 또한 특수가스를 공급하는 회사도 유통기한(Shelf Life)이 지난 가스에 대해서 폐기처리를 해야 하지만, 이를 위한 막대한 비용 때문에 바로 처리를 못하는 실정이다.
산업체에서 사용되고 유통되는 손상되거나 알 수 없는 용기(고압가스 용기들, 드럼탱크, 이동 가능한 고압용 베셀)를 다루는데 있어서 잔류가스의 처리는 매우 중요한 부분이다. 따라서 이러한 처리작업은 잠재적 위험을 내포하고 있어 반드시 숙련된 인력으로만 수행 돼야 한다.
■안전한 용기처리를 위한 주요 작업
안전한 용기처리를 위한 주요 작업으로는 △용기 내용물 식별 △잔류 물질 처리 방법 선택 △용기 내용물의 안전한 처리 △용기의 진공 및 퍼지 △용기의 밸브탈착 △용기로부터 유해 잔류 물질 제거 △용기 폐기 등이 있다.
잔류 가스의 처리에 있어 모든 사람들은 작업하기에 앞서 적절히 훈련되고 안전장비를 착용해야 하며 실질적 역량 설립이 돼 있어야 한다. 특정 경우에 따라 자체 인증을 하는 것이 필요할 수도 있다. 간혹, 경험자를 이용한 체계적이고 문서화된 교육훈련을 강화할 필요가 있다.
철저한 이론·실습 교육 필요
세부적으로 살펴보면 가스처리작업을 하는 모든 작업자는 훈련과 이론에 있어서 적절히 교육이 돼 있어야 한다. 또한 작업지침을 기록하고 체크리스트를 작성해야 하며 적절한 보호장구와 안전장비를 갖추어야 한다. 올바르게 설계된 처리공장 및 장비로 이송해야 하고, 긴급 상황으로 예측이 될 경우는 손쉽게 이용 가능한 비상 장비를 사용할 수 있도록 훈련 돼 있어야 한다.
■교육절차
교육은 반드시 문서화된 작업지침과 절차를 기본으로 해야 하며 반드시 자격이 있는 사람에 의해 실시돼야 한다.
훈련 프로그램은 이론과 연습이 함께 돼야 하고 각 교육단계는 기록되고 완료된 서명을 하는 것이 좋다.
교육프로그램은 △내용물의 식별을 포함한 제품과 용기의 정보 △처리방법 선택의 원칙 △처리 절차 △개인보호 및 일반 안전 수칙 △위험성 평가 등의 내용이 포함되는 것이 좋다.
교육프로그램은 작업자에게 가스의 일반적인 특성의 이해와 처리해야 할 특정가스의 물리적, 화학적 특성에 대한 상세 이해 등이 전달돼야 하며 법적으로 필요한 안전 자료는 훈련 기간 동안에 사용 가능해야 하고 사용돼야 한다.
교육에선 용기의 기본 정보와 다루는 방법, 밸브 디자인의 특성과 장착된 안전장치의 목적, 용기 내용물의 정의를 포함해야 한다.
또한 모든 예정 및 잠재적인 위험의 범위를 포함하는 문서화된 절차로 훈련돼야 하며 흘림, 누수, 화재 등의 경우에 긴급대응 절차를 고려해 문서화하고 연습돼야 한다.
개인안전에 있어서 효과적인방법은 문서화되고 명확하고 실용적이며 권위있는 규칙에 의해 지원돼야 한다.
보호 의류와 장비 관련와 해선 △눈과 얼굴 보호 △호흡장비 △머리 보호 △신체 보호(화학내성 또는 내화성 의류, 안전화, 안전장갑) △청력 보호 △가스 모니터링 △어떤 물질을 다루기 위한 개인보호장비(PPE) 등에 대한 훈련이 실시돼야 한다.
작업자는 특정 환기 시스템과 화재 예방, 소방 장치 및 가스 모티터링 시스템 같은 안전장치를 반드시 이해하고 사용해야 한다.
공장 및 장비에는 안전 운전을 위해 자격보유자에 의해 디자인 돼야 하고 디자이너가 아닌 다른 사람에 의해 확인돼야 한다. 위험성 평가는 반드시 실행돼야 하며 모든 배관과 베셀은 반드시 어떤 경험적인 가능 압력도 포함을 해야 한다. 또한 디자인 압력과 운전 압력은 실제 운전자가 알고 있어야 하며 모든 재질은 다룰려고 하는 가스와 반드시 호환이 돼야 한다.
