특수가스 국산화를 통해 국내 주력산업의 경쟁력 강화에 크게 기여하고 있는 OCI머티리얼즈의 노력이 결실을 맺었다.

특수가스 전문기업인 OCI머티리얼즈㈜(대표이사 조백인)는 자사가 독자적으로 개발한 ‘다이실란(Si₂H₆) 제조 공정 기술’이 지식경제부 기술표준원으로 부터 신기술(NET)인증서를 수여받게 됐다고 18일 밝혔다.

다이실란은 반도체 공정의 증착용 가스로 사용되며, 미세화 공정에서 우수한 박막형성 효과를 얻을 수 있다.

OCI머티리얼즈가 개발한 고순도 다이실란 제조 공정 기술은 모노실란(SiH₄)의 열분해 반응을 이용해 제조하는 기술이다. 회사는 지난 6월 영주공장에 연산 10톤 규모의 다이실란(Si₂H₆)제조 생산설비를 착공해 11월에 완공한 바 있다.

OCI머티리얼즈의 관계자는 “고순도 다이실란(Si₂H₆)은 전량 수입되고 있는데다 전세계적으로 공급이 부족해 높은 가격을 유지하고 있어, 회사의 다이실란 생산이 국내 반도체 산업의 발전에 기여할 것으로 기대한다” 며, “삼불화질소(NF₃)에 이은 또 한번의 특수가스 국산화를 통해 당사의 기술력을 다시 한번 입증 받는 계기가 됐다”고 밝혔다.

한편 OCI머티리얼즈는 반도체, LCD, 태양광 전지 핵심인 삼불화질소(NF₃)를 비롯한 모노실란(SiH₄), 육불화텅스텐(WF₆) 등을 제조 생산하는 세계적인 특수가스 전문기업이다. 지난 11월20일 중국 강소성 진강시에 1,000톤 규모의 삼불화질소 생산 설비공장을 완공함에 따라 세계 1위 삼불화질소 생산설비(연산 7,500톤)를 갖추게 됐다.