지식경제부 산하 세라믹 분야 종합연구기관인 한국세라믹기술원(원장 김민)이 보유 기술이전을 통한 기업들의 경쟁력 강화에 나서고 있다.
세라믹기술원은 지난 18일 ㈜테키스트(대표 김춘호)와 ‘초음파를 이용한 반도체 공정장비 내 배기관 막힘 방지장치에 대한 관련 특허기술 이전계약’을 체결했다고 밝혔다.
이번에 이전되는 기술은 초음파를 이용하여 반도체 증착 및 식각장비 내 출력배관 내에 부산물 고형화로 인한 막힘 현상을 최소화하고 동시에 배관 내부상태를 모니터링할 수 있는 기술이다.
㈜테키스트는 이번에 이전받는 기술을 적극 활용하여 신제품 개발 및 해외시장 개척에 나설 예정이다. 한국세라믹기술원은 기술이전에 따른 착수금 8,600만원과 향후 5년간 관련 매출액에 대해 경상기술료를 받게 된다.
이영진 세라믹기술원 박사는 “이번 기술이 본격적으로 적용될 경우, 기존 히팅 코일을 이용한 배기관 막힘방지에 비하여 전력소비량을 10% 이하 수준으로 낮출 수 있다”며 “배관 교체 및 정비 주기를 2배 이상으로 연장시켜 생산성 및 관리비용을 현재보다 50% 이상 절감할 수 있을 것”이라고 밝혔다.