KRISS(한국표준과학연구원, 원장 강대임)가 ‘이달의 KRISS人상’ 12월 수상자로 진공기술센터 강상우 박사(사진)를 선정했다.

강 박사는 반도체의 실시간 측정장치 신뢰성 향상 기술 개발과 측정장치를 통한 증착공정 기술 이전을 수행한 공로를 인정받아 수상자로 선정됐다.

강 박사가 개발한 기술은 진공 상태에서 초음파를 이용해 장비 내부에 퍼져있는 입자 위치를 제어하는 방법으로 측정효율을 향상시키고, 특정 위치에 집속된 입자 크기를 측정해 입자의 제어목적과 환경·조건에 따라 적합한 방법을 제시할 수 있다.

이 장치는 오염입자에 대한 측정부터 제어·제거까지 모든 프로세스가 한 번에 이루어지는 장비로 평가받고 있으며, 수입 장비에 비해 절반 정도의 가격으로도 구축이 가능하다.

강 박사는 이에 대한 공로를 인정받아 지난 10월 지식경제부 장관상을 수상하기도 했다.