국내 반도체 공정기술이 사상 처음으로 국제표준으로 채택되는 쾌거를 이뤘다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)는 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 공정기술이 국제표준(SEMI E5-0712)으로 채택됐다고 15일 밝혔다.

SEMI E5-0712는 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 팹의 자동화에 필수적인 소프트웨어 분야 표준이다. 팹 자동화 설비변경 시 발생하는 장비간 통신오류를 낮춰 장비 간 통신 편의성을 높인 것이 특징이다.

반도체공정 표준 분야는 지난 수십 년간 북미, 일본이 선점해왔다. 우리나라는 세계 최고의 반도체 공정기술을 보유하고 있음에도 불구하고 반도체공정 분야의 표준화 활동이 미미했다. 그동안 반도체공정에 사용되는 850여개의 SEMI 국제표준 중 국내에서 제정한 표준은 그동안 한건도 없었다.

이에 SEMI와 KSIA에서는 표준화 선점이 향후 경쟁력 확보의 핵심임을 인식하고 2008년부터 삼성전자 및 SK하이닉스를 중심으로 국내 반도체장비업체들과 함께 공정분야 표준화 활동에 박차를 가했다. 4년여의 표준개발 노력에 매진한 결과 국제표준 제정에 성공함으로써 국제표준 주도를 위한 첫 발을 내딛은 것이다.

SEMI관계자는 “우리나라는 이번 국제표준 제정으로 반도체 강국의 위상을 높임과 더불어 국제표준을 실질적으로 주도해 나갈 수 있는 계기를 마련했다”며 “향후 반도체공정분야 표준화 선점을 위한 의미 있는 출발점이 될 것으로 기대된다”고 밝혔다.

한편, 이번 표준 제정은 KSIA에서 지식경제부 산업융합원천기술개발사업으로 수행중인 ‘차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 과제’의 일환으로 추진됐다.