▲ 에드워드코리아가 세미콘코리아에 출품한 새로운 드라이 진공펌프와 터보펌프 제품군들.

반도체·LCD 제조 장비용 진공펌프 분야 세계 1위 기업인 에드워드가 수요처가 요구하는 저전력·고성능·소형화 진공펌프 제품을 내놓으며 시장을 리딩하고 있다.

에드워드의 한국법인인 에드워드코리아(대표 이성민)는 30일 코엑스에서 개막한 ‘세미콘코리아 2013’ 전시회에 반도체, 디스플레이, LED 및 태양전지 제조장비용 차세대 드라이 진공펌프인 iXH/iXL/iPUP2 제품군과 터보펌프인 STP-iXA 시리즈를 선보였다.

최근 런칭된 이들 드라이 진공펌프 시리즈의 장비는 작업현장에 적합하도록 기존 제품보다 더 작게 만들어졌다. 또한 소음, 진동, 전력소비를 줄이고 성능은 높여 작업의 안정성 및 높은 효율성에 크게 기여할 전망이다.

또한 이들 제품은 타 회사제품에 비해 우수한 파우더 및 수소 처리 능력을 갖췄다. 내구성 또한 뛰어나 CVD나 디퓨전 공정 등 혹독한 환경에 쓰이는 펌프의 경우 타 회사 대비 2배나 오래 쓸 수 있다고 회사 관계자는 설명했다.

특히 iXH-1020H의 경우 내구성과 파우더 문제를 해결해 달라는 삼성의 요구에 맞춰 펌프안 수냉 파이프라인을 구리에서 스테인리스로 교체한 고객맞춤형 제품이다. iPUP2 제품 또한 어플라이드머티리얼즈가 요구하는 사항으로 제작해 1,000대가 팔렸다.

최첨단 일체형 터보 분자 펌프 ‘STP-iXA Series’는 기존 일체형 STP-iXA 시리즈 제품에서 제어부 및 AC/DC 전원부를 일체형으로 모듈화해 초소형화를 실현했다. 또한 케이블을 제거해 컨트롤러 설치 공간을 최소화하고 전력사용을 줄였으며, 자가진단 및 공정기록 저장기능을 강화했다.

이처럼 에드워드코리아는 세계적인 진공기술을 기반으로 고객이 요구하는 진공시스템, 배기가스처리장치 등 통합시스템을 공급하고 있다. 특히 국내 디스플레이 시장의 60% 이상을 차지할 정도로 고객사에게 신뢰받고 있다. 회사는 생산공장을 천안으로 이전, 차세대 드라이 진공펌프를 국산화하는데 주력하고 있다.

회사 관계자는 “전세계적인 반도체·디스플레이 설비투자 감소추세로 인해 지난해 회사 매출이 감소했지만 올해 상반기 디스플레이 시장 회복과 하반기 반도체 경기 회복 전망에 발맞춰 이들 우수한 신제품들을 적극적으로 알려 재도약 하겠다”고 밝혔다.

한편 에드워드코리아는 1992년 한국에 설립된 이래 국내 삼성전자, 삼성SDI, LG디스플레이, SK하이닉스 등을 주 고객사로 두고 있다. 지난 2011년에는 연산 최대 2만5,000대의 진공펌프를 생산할 수 있는 천안3공장을 준공해 시장의 수요에 적극 대응할 수 있는 기반을 구축했다.