▲ 흑연 코팅이 돼 있는 MOCVD용 서셉터 ‘PERMA KOTE’.

토요탄소코리아(대표 콘도 나오타카)는 세미콘코리아 2013에서 다양한 분야의 흑연제품을 전시했다.

토요탄소코리아가 이번 행사를 통해 선보인 MOCVD(유기금속화학증착장비)용 서셉터 PERMA KOTE는 CVD(화학기상증착)법에 의한 고순도 SiC(탄화규소)막을 고순도 등방성 흑연(그라파이트)기재에 피복한 웨이퍼 캐리어다.

표면 SiC막코팅을 통해 흑연 불순물 방출 및 흑연으로의 흡착, 흑연 입자의 발생을 방지할 수 있도록 제작됐다. 따라서 서셉터 PERMA KOTE는 내식성과 내열성이 우수한 재료로 반도체 분야 및 내산화성 분야에서 널리 적용되고 있다.

또한 폴리실리콘을 제조하는 도가니 등도 전시했다. 토요탄소의 고순도 등방성 흑연 제품이 많이 사용면 비산화성 환경 속 약 2,500℃까지 견딜 수 있기 때문에 업계에서 선호되고 있다.

한편 토요탄소코리아는 1941년 창립하여 1974년 세계 최초로 등방성 흑연을 개발, 대량 생산에 성공한 일본계 토요탄소의 한국 현지법인이다. 토요탄소는 1987년부터 해외 진출에 나서 현재 독일, 프랑스, 이탈리아, 미국, 중국, 대만, 인도, 태국, 싱가폴 등 세계 여러 곳에 지사를 두고 세계 시장을 겨냥하고 있다.

자동차, 가전 등 생활과 밀접한 제품에서부터 원자력, 우주항공, 의료, 에너지 등 최첨단 분야까지 폭넓은 탄소제품을 생산하고 있다. 최근 에너지 분야에서 LED 칩 SiC코팅 특수 흑연제품(PERMA KOTE), 원자력용 핵심 자재와 핵융합로용 플라즈마 1차벽 등의 제품도 시장에 공급하고 있다.

또한 단결정 실리콘형 태양전지 제조용 CZ(인상법) 도가니와 다결정 실리콘형 태양전지 제조용 캐스팅 도가니에 필요한 고순도 등방성 흑연(그라파이트) 제품을 생산하고 있다. 토요탄소코리아는 국내 대부분의 모노 실리콘 잉곳 생산업체와 공급계약을 맺고 있다.