▲ 8축 진공로봇(Vactra-Quad)(사진 左) 및 이송 진공 챔버( BACKBONE).

반도체 공정에서 이송 로봇과 자동화 모듈을 공급하는 나온테크가 반도체 공정의 생산성을 2배 정도 높일 수 있는 반도체용 8축 진공로봇을 국산화했다.

나온테크 (대표 김원경)는 최근 웨이퍼 2장을 한꺼번에 처리 할 수 있는 반도체용 진공로봇 ‘Vactra-Q’과 진공 챔버(Chamber)를 개발하고 본격적인 마켓팅 활동을 시작한다고 최근 밝혔다.

반도체용 진공로봇이란 웨이퍼를 진공상태 속에서 공정챔버로 이송시켜주는 장치로 기술 난이도와 시장 진입장벽이 높아 지금까진 수입에 많이 의존해왔다. 특히 나온테크가 개발한 8축 진공 로봇은 전량 수입되고 있었다. 이번 나온테크의 진공로봇 개발로 100억원 이상의 수입대체 효과가 기대되고 있다.

개발된 8축 진공로봇 및 진공챔버 모듈는 기존 3~4개의 공정챔버를 부착 할 수 있는 장치에 6~8개의 공정챔버를 설치 할 수 있다. 이에 따라 고속으로 2장의 웨이퍼를 한꺼번에 또는 개별적으로 이송할 수 있어 일반 듀얼암(Dual Arm) 이송 로봇 대비 반도체 제조 장치의 생산성을 2배 정도 높일 수 있는 것으로 평가받고 있다.

또한 개발된 진공로봇은 링크 구조가 적용돼 고온, 내부식성 환경에서도 매우 정밀하게 웨이퍼를 공정챔버에 공급할 수 있는 장점이 있다. 더불어 회전반경이 기존 로봇보다 작아서 진공 이송 챔버의 크기를 기존보다 30% 작게 할 수 있게 됐다.

나온테크 관계자는 “개발된 8축 진공로봇은 각종 전시회를 출품됐고, 국내 시장에도 본격적으로 출시할 예정”라며, “이번 개발을 계기로 나온테크는 반도체 라인의 이송로봇과 자동화 모듈의 통합 솔루션을 제공하는 메이커로의 도약하기 위해 최선을 다하겠다”고 기대감을 나타냈다.