공작기계,산업용 로봇 및 정보통신장비 전문기업 SMEC가 반도체 이송 과정에서 공간활용도를 높일 수 있는 ‘관절 로봇형 수직 승강장치’를 개발했다.
SMEC(회장 이효제)는 LCD, AMOLED, 태양전지 등과 같은 대형기판 생산 공정에서 기판이 수십매 수납되는 카세트를 이송하는 로봇에 관한 특허를 취득했다고 29일 공시했다.
이번 특허로 기존의 지상에서 카세트를 운반하는 로봇과 달리 천정에 레일과 주행대차를 설치하고 주행대차에 로봇을 설치해 기판이 적재된 카세트를 공중에서 이송할 수 있게 됐다. 또한 기존의 더블암식 이단 카세트 로봇, 더블암식 삼단 카세트 로봇과 비교해 카세트를 들어올리기 위한 구조가 빔(Beam)형태에서 링크(Link)형태로 변경해 공간의 활용도를 높였다.
현재 LCD, AMOLED, 태양전지 등을 생산 제조하는 국내 크린형 공장은 유럽, 미국 등 해외와 달리 건축비용을 절감하기 위해 고밀집형으로 건축되고 있어 공간의 활용도를 높인 이번 특허가 업계에 주목을 받고 있다.
회사 관계자는 “더블암식 이단·삼단 카세트 로봇과 더불어 천정에 설치함으로서 공정의 공간 활용을 높이고, 최적화된 이동경로 설계로 생산량 증대가 기대된다”며, “향후 본 특허를 활용해 해당 시장에 진입한다면 매출증대에 기여할 수 있을 것”이라고 밝혔다.