특수가스 메이커 OCI머티리얼즈(대표 임민규)가 신규 아이템으로 마련한 디실란(disilane, Si₂H₆) 사업이 본궤도에 오르고 있다.

OCI머티리얼즈는 최근 세계적인 메모리반도체 회사인 S社에 디실란을 본격 공급하기 시작했다고 밝혔다. 또한 다른 굴지의 국내 반도체 회사에도 테스트를 거쳐 공급이 임박한 것으로 전해지고 있다.

OCI머티리얼즈는 2012년 11월 영주공장에 연산 10톤 규모의 디실란 생산설비를 완공했으며 이후 반도체 회사 등 주요 수요처에 테스트를 진행해왔다.

디실란은 반도체용 공정 중 박막 CVD(Chemical Vapor Deposition, 화학증기증착)처리 공정에서 증착 온도를 크게 낮추고 증착 속도를 높이는 가스다. 기존 증착에 쓰이던 모노실란(SiH₄)보다 약 4~5배 빠른 산출 속도와 높은 성능향상이라는 장점이 있지만 가격이 100배 이상 높아 일부 용도로만 사용됐다.

그러나 반도체공정이 최근 20㎚(나노미터) 이하 미세공정으로 전환되면서 디실란 수요는 점차 늘고 있다. 특히 세계 디실란 수요의 60~70%가 국내 반도체 업체인데다 현재 약 600억원 규모의 국내 시장이 2017년엔 1,000억원으로 성장할 것으로 전망되고 있다.

우리나라는 그간 디실란을 전량 수입에 의존하고 있는데 원익머트리얼즈가 볼텍스와 장기 공급 계약을 맺고 국내 디실란 공급의 90% 이상을 담당하고 있고, 미쯔이와 REC가 나머지를 유통하고 있다.

OCI머티리얼즈는 ‘모노실란의 열분해에 의한 디실란의 제조방법 및 제조장치’에 관한 특허를 바탕으로 디실란 국산화에 성공한데다 이번에 주요 공급처를 확보하면서 시장에서 유리한 고지를 확보하게 됐다. 또한 디실란을 자체 생산하고 있는 모노실란을 바탕으로 제조하기 때문에 가격 경쟁력도 갖추고 있어 회사의 경영실적 향상이 기대되고 있다.