▲ 에어리퀴드코리아 화성 신공장 준공식에서 귀빈들이 기념 테이프 커팅을 하고 있다..

세계적인 산업가스 및 전자재료기업인 에어리퀴드가 한국에 반도체용 첨단 신소재 생산기지를 구축하고 아시아 시장 공략에 박차를 가할 전망이다.

에어리퀴드코리아(대표 크리스토퍼 클라크)는 경기도 화성시 장안 1 첨단산업단지에서 신공장( AMCK:Advanced Materials Center Korea) 준공식을 개최했다. 이날 행사에는 남충희 경기도 경제부지사, 제롬 빠스키에 주한프랑스 대사, 목광웽 에어리퀴드 아태지역 부사장, 크리스토퍼 클라크 대표, 이용한 원익 회장 등 70여명이 참석했다.

90억원이 투자된 에어리퀴드코리아 화성 신공장에는 반도체 제조용 고급 실리콘(Si) 전구체(precursors)인 TSA(트리실릴아민:Trisilylamine)와 SAM.24™(실란디아민:SilaneDiAmine) 의 정제 및 충전시설이 구축됐다. 에어리퀴드가 전자재료분야에서 한국에 투자하는 것은 이번이 처음으로, 향후 3년여간 40억원을 추가 투자해 전구체 생산품목을 늘릴 계획이다.

전구체는 마이크로 전자장치의 조립시 임계층(critical layers)을 쌓는데 사용되는 특정 물리적·화학적 성질을 지닌 기체소재를 일컫는다. 에어리퀴드는 고부가 전자재료 매출 확대를 위해 원자층 증착(ALD) 및 화학기상증착(CVD) 전구체 및 소재 솔루션 라인업을 일컫는 브랜드인 ‘ALOHA™’를 강화하고 있다.

‘ALOHA™’의 대표 제품인 TSA는 반도체 위에 실리콘을 증착하기 위해 사용하는 물질로 20나노 이하급 반도체 생산공정에 적용되며 그 사용량이 급격히 늘어날 것으로 전망되고 있는 신소재다.

에어리퀴드는 화성 신공장을 기반으로 급성장하고 있는 아시아 전자재료시장 공략에 적극 나선다는 계획이다. 회사는 현재 생산한 전구체 시제품을 삼성전자와 SK하이닉스에 테스트를 진행 중이며 올해나 내년경 본격적인 공급을 기대하고 있다.

그간 수입에 의존하던 반도체용 전구체의 국산화를 통해 에어리퀴드는 전자재료 선두기업으로 도약하게 됐으며 한국 반도체 생산기술 향상에 기여할 전망이다.

이날 준공식에 참석한 남충희 경기도 경제부지사는 “차세대 전자소재의 아시아 생산 헤드쿼터가 도내에 구축된 것을 기쁘게 생각한다”며 “사업하기에 좋은 비즈니스 환경 개선 및 행정지원에 최선의 노력을 다해 나갈 것을 약속한다”고 말했다

크리스토퍼 클라크 에어리퀴드코리아 대표는 “우선 5만시간에 달하는 공사를 아무 사고 없이 안전하게 완료한데 감사를 표한다”며 “고객사의 니즈를 충족할 수 있도록 혁신을 거듭하는 핵심 생산기지가 되도록 노력하겠다”고 밝혔다.

한편 1902년 프랑스 파리에 설립된 에어리퀴드는 산업가스, 의료용가스, 전자재료 등 사업분야에서 약 22조원의 매출을 기록하는 글로벌 기업이다.

한국 법인인 에어리퀴드코리아는 1996년 설립돼 산업에 필요한 산업가스 및 전자재료를 공급하며 연 4,300억원의 매출을 기록하고 있다.

▲ 크리스토퍼 클라크 에어리퀴드코리아 대표가 화성 신공장(AMCK) 준공식에서 축사를 하고 있다..