▲ 미코의 300mm 세라믹 히터(AlN Heater).

세라믹 소재부품 전문기업 미코(대표 전선규)가 국산화에 성공한 반도체 공정용 세라믹 히터의 판매가 본 궤도에 오르고 있다.

미코는 주력 제품인 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD) 공정용 세라믹 히터의 누적 판매량이 1,000대를 돌파했다고 지난 7일 밝혔다. 이는 지난 2012년 국내 최초로 국산화한지 2년여만에 올린 성과다. 특히 세라믹 히터 판매를 통해 올 상반기에만 지난해 전체 매출에 육박하는 80억원의 매출을 기록할 정도로 높은 성장세를 기록하고 있다.

이처럼 미코의 세라믹 히터 판매가 단기간에 늘어난데는 자체 개발한 원료로 만든 세라믹 소재를 채택해 내구성과 내고온성 등을 높인 것이 주효했다.

세라믹 히터는 반도체 공정 중 챔버 내에서 웨이퍼를 증착할 때 챔버의 온도를 균일하게 유지하는 역할을 하기 때문에 높은 내구성과 내고온성이 핵심이다. 이를 뒷받침할 수 있는 소재와 기술은 몇몇 선진기업들이 가지고 있어 지금까지 전체 세라믹 히터시장의 90% 이상을 외국산이 차지하고 있었다.

미코의 세라믹 히터는 주고객사인 원익IPS를 비롯한 국내외 기업에 공급되고 있다. 또한 반도체 업체들의 설비투자가 지속되고 있고 세라믹 히터의 적용 범위도 반도체 CVD공정 전체로 확대되면서 추가 수주도 기대되고 있다.

미코 회사 관계자는 “주력 제품의 매출 증가로 인해 올 2분기(연결 기준)에 흑자로 돌아설 수 있을 것으로 전망되며, 올해 흑자폭도 더욱 늘어날 수 있을 것”이라고 기대했다.

전선규 미코 대표이사는 “국내뿐만 아니라 세계적인 장비 업체들에게도 공격적으로 마케팅을 하고 있으며, 긍정적으로 검토 중인 기업도 있어 수주 다변화가 기대되고 있다”며 “또 다른 기능성 부품인 세라믹 ESC(정전척)도 자체 국산화한 세라믹 시트를 활용한 제품이 미국 플래시 메모리 솔루션 업체인 스팬션에 품질 인증돼 정식 오더를 받는 등 글로벌 소재부품회사로 발돋움하고 있다”고 강조했다.