▲ AMOLED 제작과정 일부.

공공기관이 보유하고 있던 차세대 AMOLED 대량생산 원천특허가 유망성과가 있는 기업에 이전돼 산업경쟁력을 확보하고 고부가가치를 창출할 수 있을 것으로 기대되고 있다.

미래창조과학부(장관 최양희)는 성균관대학교(나노소재기반휴먼인터페이스융합연구센터)와 AP시스템㈜이 ‘차세대 능동형 유기발광다이오드(AMOLED) 대량생산 기술’에 대한 특허권 통상실시 기술이전계약을 체결했다고 26일 밝혔다.

기술이전 대가는 정액기술료 15억원을 2015년까지 납부하는 조건이다.

AMOLED 패널 제작의 핵심공정인 저온 실리콘 결정화 공정은 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 변환하는 공정으로 △비정질 실리콘 막 증착 △증착된 막에 포함된 수소를 제거하는 탈수소 공정 △레이저 열처리 등 크게 3단계로 구성돼 있다.

이번에 이전된 기술은 수소를 포함하지 않는 비정질 실리콘 막 증착 장비 개발에 필요한 기술이다.

이 경우 탈수소 공정이 필요하지 않아, 본 기술을 적용한 장비를 사용하는 AMOLED 디스플레이 제조사는 생산설비 및 제조단가 감소, 생산 수율 개선을 달성할 수 있다. 또한 현재 사용되고 있는 실리콘 막 증착 장비는 전량 수입에 의존하고 있어 본 기술을 적용한 장비가 개발되어 상용화될 경우 수입대체 효과도 기대할 수 있다.

AP시스템㈜은 기존 주력장비인 레이저 열처리 장비를 본 기술을 적용한 비정질 실리콘 막 증착 장비와 융합해 단일 공정의 폴리실리콘 막 형성 장비를 개발할 계획이다.

내년 상반기까지 장비 개발 및 테스트를 마치고 이후 디스플레이 제조사와 협력을 통해 대형 기판용 양산장비를 개발해 2015년 말 또는 2016년 초 시장 진입을 목표로 하고 있다.

한편 이번 기술이전은 공공기관이 보유한 개별기술을 특정 분야별로 패키징하여 공동 포트폴리오를 구축, 기업이 필요한 기술을 맞춤형으로 제공하는 미래부의 ‘공공기관 보유기술 공동활용지원사업(2013년)’의 지원을 받아 추진됐다.

미래부 관계자는 “국가 미래성장동력 및 차세대 먹거리 분야를 선도하는 AMOLED 대량생산 원천기술을 국내 중견기업이 확보하게 됨으로써 산업경쟁력을 확보하고 고부가가치를 창출할 수 있을 것으로 기대한다”며 “앞으로도 사업화 가능한 유망성과가 중소·중견기업에 이전돼 활발히 활용될 수 있도록 계속 지원할 계획이다”고 밝혔다.