일본의 타이요닛뽄산소(TNSC)가 신규 모노실란 생산공장을 건설한다.
TNSC는 독일의 에보닉 데구사社에의 일본법인인 에보닉 데구사 재팬과 공동으로 일본 혼슈의 미에현 시오하마 지역에 200억엔을 투입해 연간 1,000톤을 생산할 수 있는 신규 플랜트를 올해 말부터 건설한다고 밝혔다.
이를 위해 양사는 지난 5월 모노실란 플랜트를 운용할 조인트벤처기업인 에보닉 모노실란 재팬(Evonik Monosilane Japan)社를 설립했으며, TNSC가 75%, 에보닉 데구사 재팬이 25%를 보유하고 있다.
양사는 향후 신규 플랜트가 완공되는 2011년부터 일본과 아시아 지역을 중심으로 태양전지, TFT-LCD, 반도체 등 SiH₄수요처들에 대한 공급 안정성을 강화하는 한편, 신규 고객유치에도 적극 나선다는 복안이다.
한편, TNSC는 지난해 7월에도 중국의 모노실란 시장 공략을 위해 미국 US Gas Standards社로부터 중국의 모노실란 충전업체 Yangzhou Zhong Yuan Semiconductor Gases(YZYSG)社의 지분 100%를 1억6,000만엔에 인수한 바 있다.