▲ 임창환 인테그리스 한국 지사장이 자사의 제품과 솔루션을 발표하고 있다..

반도체 소재·솔루션 기업 인테그리스가 반도체 미세공정 가속화에 발맞춰 제품 포트폴리오와 고객 맞춤형 서비스 강화에 나서고 있다.

인테그리스는 지난 3일 서울 삼성동 그랜드 인터컨티넨탈 호텔에서 기자간담회를 열고 세미콘코리아 2015에 출품하는 자사의 신제품을 선보이고 반도체 소재·솔루션 등에 관한 사업계획을 발표하는 자리를 마련했다.

이날 발표를 맡은 임창환 인테그리스 한국 지사장은 “반도체산업에서 4~5년 전부터 20나노 이하 미세공정이 대두되면서 공정수가 2~3배 늘고 기존에는 발생하지 않았던 문제들이 발생하고 있다”며 “이에 반도체 회사들은 수율 관리를 위한 방안으로 공정개선 보다 고품질의 소재부품 관리와 투자에 더욱 신경쓰고 있다”고 밝혔다.

이로 인해 보다 정제된 소재를 사용하고 오염방지를 차단하는 것이 반도체산업의 주요 이슈가 되고 있다. 반도체 장비에 들어가는 필터, 밸브, 피팅 부품과 포토레지스트(PR) 분사장치 등을 공급하던 인테그리스는 이러한 트렌드에 맞춰 지난 4월 임플란트 가스 및 증착물질 전문기업 ATMI를 인수·합병했다. 이를 통해 인테그리스는 리소그래피, 에칭, 증착, 세정, CMP, 투입, 운송에 이르는 반도체 칩 제조공정 토털솔루션을 구축하게 돼 고객사들의 수율향상에 보다 적극적으로 대응하게 됐다.

▲ 인테그리스가 출시한 IntelliGen MV 분사 시스템.

이번에 인테그리스가 출시한 반도체 및 전자산업용 중점도 액체분사 시스템 ‘IntelliGen®MV’은 반도체의 3D화, MEMS 기술 발전으로 복잡해진 공정에 최적화됐다. 이 시스템은 100~300cP의 점도를 가지고 있는 다양한 종류의 PR을 동시에 처리해 웨이퍼에 최적화되도록 분사한다.

임창환 지사장은 “IntelliGen®MV 분사 시스템은 새롭고 다양한 진단 및 감지 기능을 통해 불량률을 줄이고 필터의 여과 성능을 극대화한다”며 “소형으로 설계돼 트랙하나에 여러대를 설치할 수 있어 장비 내부 공간을 효율적으로 사용할 수 있는 장점이 있다”고 강조했다.

인테그리스는 반도체는 물론 반도체 수준의 공정 관리와 순도를 요구하고 있는 LED, 태양광, 생명과학 등 시장에 진출하기 위한 준비에 나서고 있다. 한국의 경우 유체 처리용 컴포넌트를 생산하고 있는 원주공장에서는 올해 ESD(정전기 방지용) 튜브 압출량 개선을 중점 추진할 계획이다. 임플란트 가스 및 이온 주입 가스실린더를 생산하고 있는 장안공장에서는 세정제 등 습식화학물질 생산을 본격화할 계획이다.

한편 인테그리스는 공정가스, 용액 및 팹 여과제품, 독성가스 안정 운송 시스템, 증착 및 세정용 특수화학물질, 웨이퍼 운반기, 특수 코팅 등 사업을 영위하고 있으며, 2013년 기준으로 매출 11억달러를 달성했고 3,500명의 임직원을 보유하고 있다.