▲ SEMICON Korea 2015에서 임민규 OCI머티리얼즈 대표이사가 자사의 제품을 소개하고 있다..

특수가스 국산화를 통해 전자산업 발전에 기여하고 있는 OCI머티리얼즈가 세미콘을 통해 반도체, LCD패널, 태양광 전지 제조에 사용되는 특수가스 군을 선보이며 자사의 기술력을 업계에 알렸다.

OCI머티리얼즈는 2월4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘 코리아 2015에 참가했다.

회사는 이번 전시회에서 NF₃(삼불화질소), SiH₄(모노실란), WF₆(육불화텅스텐), SiH₂Cl₂(디클로로실란), Si₂H₆ (다이실란) 등 반도체, LCD패널, 태양광전지 제조공정에 사용되는 특수가스를 선보였다.

NF₃는 반도체, LCD 및 태양전지 CVD 챔버내 세정에 사용되는 가스로 OCI머티리얼즈가 세계 최대의 생산 캐파를 보유하고 있다. NF₃는 암모니아(NH₃)와 불소(F₂)를 고온·고압 하에서 반응시킨 후 추출 및 정제하며 순도를 높이는 방식으로 생산되는 특수가스로 안정성이 뛰어나 수송과 저장이 용이해 반도체·디스플레이 공정에서 널리 사용되고 있다. NF₃는 최근 수요가 급격히 늘어나면서 돈이 있어도 제때 구입할 수 없는 ‘품귀현상’을 보이고 있다.

SiH₄는 반도체나 LCD 또는 박막태양전지 제조상의 CVD에 사용되는 특수가스다. 모노실란은 전 세계적으로 4,000여톤이 유통되고 있으며, OCI머티리얼즈는 2014년 2,000톤의 생산능력을 보였다.

WF₆는 반도체 배선형성 공정에 사용되며, OCI머티리얼즈는 250톤의 생산능력을 보이고 있다.

SiH₂Cl₂은 CVD 공정에서 암모니아와 결합해 사용되는 실리콘 전구체 가스로 SiH₂Cl₂는 애피텍셜 실리콘 증착을 위해서도 사용된다.

Si₂H₆(다이실란)은 반도체 미세화 공정에서 박막 증착시 저온, 고속으로 균일한 막질 형성에 사용된다.

OCI머티리얼즈에서 이 다섯 종류의 특수가스가 차지하는 비율은 매출액비중 96.9%에 달하며, 매출액은 1,449억원 규모다.