▲ 이건종 원익머트리얼즈 대표가 세미콘코리아에서 자사가 생산하는 전구체를 소개했다..

반도체·LCD 특수가스 전문기업 원익머트리얼즈(대표 이건종)가 차세대 고부가 아이템으로 반도체 전구체(precursor)를 점찍었다. 집중 투자를 통한 제조시설 확보와 인수합병으로 빠르게 시장에 제품을 내놓으며 반도체 미세화공정에 발맞춰 반도체 소재전문기업으로 자리매김하겠다는 전략이다.

원익머트리얼즈는 지난 4~6일 서울 코엑스에서 열린 세미콘코리아에서 처음으로 실리콘(Si) 기반의 전구체인 ‘HCDS(Si2Cl6)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 프리커서 ‘Cp-Zr’를 출품했다.

이날 이건종 원익머트리얼즈 대표는 “이들 전구체 제품이 원익머트리얼즈가 향후 계획 중인 ‘반도체 전구체 토털솔루션 공급기업’의 시작을 알리는 것”이라고 강조했다.

반도체 미세공정화가 진행됨과 동시에 3D 핀펫(FinFET) 등 신기술이 도입되면서 반도체 전구체의 사용량도 급격히 증가하고 있고 고객사의 수요도 다양화되고 있다. 이에 원익머트리얼즈는 자사의 기술역량과 자금을 전구체 사업에 집중, 기존 특수가스와 함께 새로운 성장동력을 확보한 것이다.

이를 위해 원익머트리얼즈 국내 전구체 공장을 연내 완공하고 반도체 전구체를 정제·합성할 계획을 검토중에 있다. 이곳에는 ‘원익 전구체 플랜트’와 R&D센터, ‘노바켐코리아 전구체 플랜트’가 우선 들어선다. 원익머트리얼즈는 지난해 10월 전구체 기술을 가진 미국 노바켐을 171억원을 투자해 인수한 바 있다.

이와 함께 세계적인 금속 프리커서 전문기업과 해외 파트너십을 통해 아시아지역에 프리커서 제품을 공급한다. 이밖에도 3-5족 전구체, Low-k(저유전율) 전구체 생산과 판매를 위해 타 기업과 협력을 추진 중이다.

이건종 대표는 “갈수록 빨라지는 반도체 수요기업의 니즈를 충족시키기 위해 많은 투자를 통해 전구체 토털 솔루션을 갖추게 됐다”며 “전구체 매출 규모는 회사 전체로 볼때 큰 부분을 차지하지는 않지만 고부가 제품들이기 때문에 영업이익 개선에 큰 도움이 될 것”이라고 밝혔다.

한편 원익머트리얼즈는 NH₃(암모니아), NO(일산화질소), N₂O(아산화질소), GeH₄(사수소화게르마늄), Si₂H₆(디실란) 등 특수가스를 반도체, LCD, LED, AMOLED 산업에 공급하며 수요처의 경쟁력 강화에 기여하고 있다.

중국 시안에 현지법인을 설립, 중국에 공장을 가지고 있는 삼성서안반도체 및 SK하이닉스, 우시 등에 관련 기업에 특수가스를 공급하고 있으며 지난해에는 1억불 수출 탑을 수상하며 한국을 대표하는 특수가스기업으로 자리매김하고 있다.