국내 최대 반도체 장비·재료 전시회인 ‘세미콘코리아 2010’과 국제 태양광 전문 전시회 ‘쏠라콘 코리아 2010이 지난 2월3일부터 5일까지 3일간 서울 코엑스 전시장에서 성황리에 개최됐다.

먼저 올해로 23회째를 맞은 세미콘코리아는 전 세계 16개국 400여개 기업이 참가하고 있으며 반도체 생산공정에 사용되는 새로운 장비와 재료 등이 대거 선보였다.

동시에 개최된 쏠라콘코리아 2010과 LED Korea 2010을 포함해 1200여개 부스의 산업 전시회 및 기술 학술 산업 세미나로 진행됐다.

이번 행사의 주요 출품품목은 각종 반도체 장비, 특수가스 생산기술 시스템, 프라즈마 운용시스템, 액체 초저온장비, 가스캐비닛 등 관련 출품 장비 수십여 종이 전시됐다.

특히 이번 전시회에도 지난해에 이어 반도체 장비·재료 업체 뿐 아니라 여기에 사용되는 산업가스 관련 업체의 참여도 꾸준히 이어졌다.

산업가스업체로는 소디프신소재, 원익머트리얼즈, 한국메티슨특수가스 등이 참가했고 로타렉스 루스테크, 하니웰 등이 밸브 및 레귤레이터, 검지기 등의 가스관련 장비를 출품했다.

또한 FPD(평판 파넬 디스플레이), 300mm관련 제품, 초미세 공정 기술(Nano Technology)등 최첨단 기술이 선보였으며 이와 더불어 반도체 제품사, 장비사, 재료사 및 연구기관에 이르기까지 모든 관련 기업, 기관들이 한자리에 만나서 정보를 나누고 함께 발전할 수 있는 장이됐다.

전시회와 병행해 3일간 SEMI Technology Symposium(STS) 2010과 Business program, Standards program, Special Forum등의 다양한 심포지엄과 세미나가 개최됐다.

SEMI Technology Symposium은 세미콘코리아와 함께 개최되는 국제 기술 심포지엄으로 반도체 장비회사, 재료회사, 제조회사의 연구원 및 엔지니어는 물론, 학계 전체를 아울러서 2010년 현재 반도체 기술의 최신, 최고의 연구 성과와 기술에 대해 논의됐다.

올해 심포지엄에서는 연구, 기술, 제조와 응용에 걸친 전 분야에서의 발전된 기술에 대해 발표와 논의됐다. Advanced Lithography, Dielectrics, Metals, Device Technology, Etching Technology, Contamination-Free Manufacturing and CMP Technology, Electropackage System and Interconnect Product 분야를 이끄는 차세대 반도체 기술이 발표됐다.

김중조 세계반도체장비재료협회(SEMI) 회장(에드워드코리아 회장)은 “무엇보다 이번 전시회는 국내 반도체 장비·재료 업체들의 해외 진출을 돕는 실질적인 비즈니스 장으로 변모를 꾀하고 있다”며 “올해 NEC가 참여하는 구매상담회는 사전에 상담 신청을 받은 14개사가 긴밀한 구매 상담을 진행했다”라며 “세미콘코리아가 국내 반도체 장비재료 업체들의 해외 진출을 도모하는 무대가 됐다”고 말했다.

‘쏠라콘 코리아 2010’은 독일 Fraunhofer 연구소의 선진 태양광 기술 세션을 필두로, 세계 태양광 기술의 발전방향과 산업 동향에 대해 논의됐다.

또한 EU, 미국, 아시아 주요국가의 에너지 정책을 담당하는 정부 전문가들이 국가별 정책 및 관련 핵심 이슈들을 논의했다.

특히 이번 행사는 전 세계 태양광 산업을 주도하고 있는 유럽, 일본, 미국 등과 국내 주요 업체들이 100여 부스 규모로 참여, 재료 장비에서 셀, 모듈 및 시스템 설치 등 최신 기술을 선보였다. 또한 전시장 내의 PV Museum에서는 태양광 제조 기술에 관한 일반적인 공정 과정이 전시돼 태양광에 대한 이해를 도왔다.

쏠라콘 코리아는 국내 최고의 국제 태양광 세미나 및 프로그램을 제공함으로써 국내 태양광 산업 발전에 이바지 했다.

또한 반도체 전시회 ‘세미콘 코리아’, LED관련 전시회 ‘LED 코리아’와 동시에 개최돼 관련 산업과의 시너지 효과를 극대화한다는 전략이다.




출품기업 소개

△(주)소디프신소재

소디프신소재는 그동안 NF3를 비롯해 SiH4, WF6 등의 특수가스를 국산화해 국내외 반도체 및 LCD생산업체에 공급하면서 초고속성장을 이룩했다.

이번 전시회에서 소디프신소재는 각종 특수가스를 선보였다.

박막형 태양전지 제조용 소재로 각광 받고 있는 SiH2Cl2는 태양광 산업의 발전과 함께 NF3, SiH4와 향후 회사의 매출증대에 기여할 것으로 기대된다.

△(주)원익머트리얼즈

지난 2006년 아토의 특수가스사업 분사로 설립된 원익머트리얼즈는 이번 전시회를 통해 각종 반도체용 특수가스 생산기술을 비롯해 ISO Supply System, 각종 정제장치 등을 선보이며 관람객들을 맞았다.

특히 패널을 통해 ISO튜브트레일러를 통해 공급하는 NH3와 N2O를 소개했으며 아울러 Y톤용기 및 톤실린더 시스템을 통해 공급하는 PH3, CO2, Cl2, SF6 등을 선보였다.

현재 N2O, NH3, CO, PH3 등의 고순도 및 특수가스와 H2, O2, He, Ar, 혼합가스를 제조·공급하고 있다.

△한국메티슨특수가스(주)

한국메티슨특수가스는 이번 세미콘코리아에 NH3를 비롯해 PH3, C3F8, BF3 Cl2, HCL, SiF4, AsH3 등의 각종 특수가스를 비롯한 다양한 장비를 소개했다.

특히 이번 행사에는 용접/절단용 가스장비를 비롯해 온사이트 제너레이션 등의 기술과 제품이 국내외 바이어와 관람객들에게 높은 호응을 얻었다.

지난 2006년 아산에 제 2특수가스공장을 준공하는 등 수년간 자체 제조(정제)능력을 지속적으로 확충한 회사는 지난해에도 투자를 단행, 생산량 증강에 노력하고 있다.
 

△(주)로타렉스 루스테크

특수가스 장비 전문업체인 로타렉스 루스테크는 이번 전시회를 통해 각종 산업용가스 관련 장비를 선보였다.

이날 최신 고순도 및 초고순도밸브를 비롯해 고압실린더용밸브, 초저온라인밸브 등의 각종 밸브와 레귤레이터, Fittings, 컨넥터 등의 다양한 제품은 전시회를 찾은 많은 바이어들의 눈을 사로잡았다.

△유니온금속공업(주)

유니온금속공업(주)(대표 유명호)는 튜브와 튜브를 연결하는 부품인 튜브 피팅(Tube Fitting)과 밸브(Valve) 등 초정밀 관 이음새를 전문적으로 제조하는 업체다.

특히 회사는 모든 산업에 쓰이나 전량 수입에 의존하던 스테인리스 튜브 피팅을 1984년 국산화에 성공한 바 있다. 회사의 제품은 반도체 및 LCD 생산라인, 석유·화학플랜트 등 높은 정밀도가 요구되는 분야에 널리 쓰이고 있다. 이러한 경쟁력을 바탕으로 회사의 매출액 절반 가량은 미국 유럽 아시아 중동 남미 등지의 40여 개국에 수출이 차지하고 있다.


△TSC 멤시스

TSC 멤시스(대표이사 정지완,김진태)는 반도체 검사용 장치인 Probe Card와 FPD, PDP 검사용 장치인 Probe Unit, 이를 탑재하는 검사장비 Probe Station을 국내 최초로 개발·제조하는 업체다.

특히 회사가 개발한 반도체용 MEMS Card는 기존의 Probe 제품을 발전시킨 것으로 미세회로에 대응하도록 Lithography 공정으로 제조돼 기능성과 내구성이 향상됐다.

회사의 제품은 국내 하이닉스와 LG디스플레이, 대만의 CPT, 한스타, 중국의 BOE 및 싱가폴의 ST Micro 등 다수의 해외 고객에게 공급되고 있다.

한편 회사는 지난해 3월 테크노세미켐이 23.36%의 지분을 인수하면서 최대주주가 됨에 따라 8월 회사명을 파이컴에서 TSC 멤시스로 바꿨다.


△테크노세미켐

테크노세미켐(대표이사 정지완)은 TFT-LCD, 반도체 공정 재료 및 전자 재료를 생산하는 업체다.

회사는 LG디스플레이, 삼성전자에 LCD 공정에 쓰이는 식각액을 공급하고 있으며 이 부분에서 시장점유율 1위를 달리고 있다. 또한 회사는 우수한 품질과 가격경쟁력을 바탕으로 삼성 SDI에 2차전지 전해액을 공급하고 있으며 지난해 3분기 전해액 매출액은 전년동기대비 무려 118% 증가한 70억원을 기록했다.

최근에는 2차전지용 전해액 생산 및 판매를 위해 TSC Michigan,Incorporated라는 미국 현지법인을 설립하는 등 국내외에서 활약하고 있다.


△엘오티베큠(lotvacuum)

엘오티베큠(대표이사 오홍식)은 반도체 및 LCD 시장용 진공펌프를 개발, 제조, 판매하고 있는 회사다.

회사는 2002년 7월 독일 기업인 라이볼트로부터 드라이펌프 사업을 인수한 후 12월 미국 피츠버그 생산라인을 천안공장으로 이전 완료하고 2003년 1월 천안공장에서 반도체 저전력 진공펌프인 듀라드라이(DuraDry) 1호기를 조립해 16대를 삼성전자에 최초로 납품하는 등 진공펌프의 국산화에 노력하고 있다.

주력제품인 DuraDry 시리즈는 현재 국내에 2,000대 이상 운용 되고 있으며 Screw 기술을 이용해 파우다 증착과 핸들링이 모두 용이한 것이 장점이다. 회사는 지난달 삼성전자와 4억8,300만원 규모의 반도체 공정용 건식진공펌프 공급계약을 체결한데 이어 지난 8일 56억원 규모의 계약을 체결하는 등 활발하게 사업을 진행 중이다.


△동우화인켐

1991년 창립한 동우화인켐(대표이사 문희철)은 반도체용 고순도 Chemical의 자체 개발에 성공한 전자재료업계의 선두주자다.

회사는 반도체, TFT-LCD 제조 시 필수소재로 사용되는 고순도 Chemical, Etchant, 포토 레지스트(Photo Resist), 칼라필터 및 편광필름의 자체개발을 추진해 그간 전량 수입에 의존하던 제품의 국산화를 이뤘다.

OCI가 50%, 일본 스미모토화학이 40%를 합작해 출범한 동우화인켐은 1998년 스미토모화학의 자회사로 재탄생해 기술력을 바탕으로 소재 분야 전반에 걸쳐 사업을 진행 중이다.

회사는 삼성전자와 하이닉스에 제품을 공급 중이며 중국 현지공급을 위해 공장을 건설 중이다. 지난해 2조원에 가까운 매출액을 달성한 회사는 태양전지 핵심소재 중 하나인 EVA시트 생산에 이어 LED칩 원료인 사파이어 웨이퍼제조에 나서며 사업영역을 더욱 확장하고 있다.


△NCK(주) (Nissan Chemical Korea)

일본 닛산화학의 한국법인인 NCK는 반도체의 포토리소그래피 제조공정에 사용되는 반사방지 코팅액인 ARC(Anti-Reflective Coatings material) 생산의 선두 업체다. 회사는 ARC를 삼성, 하이닉스, 매그나칩 등 세계적으로 내로라하는 반도체 회사에 공급하며 높은 시장점유율을 보이고 있다.

특히 회사는 6개월마다 진화하는 반도체 공정에 맞춰 제품을 끊임없이 개발 중이며 회사의 관계자는 현재는 20나노급까지 적용 가능한 제품 기술력을 보유하고 있다고 밝혔다. ARC는 90%의 솔벤트와 10%의 폴리머 물질로 구성돼있으며 폴리머 물질을 어떻게 첨가하느냐가 기술의 핵심이다.


△프리시스

프리시스(대표이사 서진천)는 반도체 핵심 분야인 고진공 장치와 LCD 관련 검사장치(MACMIC/MACRO) 등을 생산하고 있는 기업이다.

프리시스는 특히 진공컴포넌트 분야의 국산화에 나서 10년간 70여 기종의 진공밸브를 우리 기술로 만들어냈다. 이러한 기술력을 바탕으로 동부하이텍, 삼성전기, 삼성전자, 삼성SDI, 하이닉스, 성원 에드워드, 주성엔지니어링, 케이씨텍, 피에스케이 등에 제품을 공급 중이다.

회사는 또한 20억여원을 투자해 웨이퍼 두께를 30∼10㎛까지 줄일 수 있는 초박막화 장비인 웨이퍼시닝시스템(WTS:Wafer Thining System)을 지난해 12월 개발하는 등 첨단기술사업에 박차를 가하고 있다.