국제반도체장비재료협회(SEMI)는 반도체 생산 장비 안전표준인 SEMI S2 4건의 한글 번역본을 10월2일에 발간했다.

이번 발간은 지난 1월 발간된 4건의 한글화 작업를 이은 것으로 △SEMI S6-0707E 반도체 제조장비 배출환기 가이드라인, △SEMI S10-0215 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인, △SEMI S14-0309 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인, △SEMI S21-1106E (Reapproved 0612) 작업자 안전 가이드라인이 완역 발간되었다.

최근 몇 년간 반도체 사업장에서 안전사고가 적지 않게 발생하고 있고 반도체 장비는 화학물질 및 전리방사선등으로 인한 작은실수나 고정으로도 심각한 인명사고를 유발할 수 있어 설계, 제작단계부터 엄격한 관리가 필요하다.

SEMI는 20여년간 반도체 장비에 필요한 환경, 보건, 안전 요건을 정의하는 26건의 안전 가이드라인을 개발하여 업계에 제공해오고 있는데 전세계 반도체 제조 분야에서 유일하게 사용되는 표준이지만 SEMI S2가 영어로 표기되어 한국사용자들의 장비안전에 대한 전문지식 습득이 어려워 현장에서 활용하기 어렵다는 의견이 지배적이었다.

한국SEMI는 이를 적극 반영하여 2014년 부터 업계 활용도가 높은 표준을 단계적으로 번역하여 한글본을 발간하고 있다.

또한 SEMI는 S2표준을 사용하는 담당자들을 위한 교육을 일년에 두 번 진행하고 있다.

SEMI 관계자는 “이러한 SEMI의 활동들은 반도체 장비 안전의 중요성을 일깨울 뿐 아니라, 제조업체의 생산 및 품질관리능력을 향상시킬 것으로 기대된다”고 전했다.