▲ 원익머트리얼즈 부스 전경.

원익머트리얼즈가 전시회를 통해 자사의 전구체 기술을 전자업계에 알렸다.

원익머트리얼즈는 14∼17일까지 경기도 일산 킨텍스에서 개최된 ‘2015 한국전자산업대전’에 참가했다.

이번 전시회에서 원익머트리얼즈는 실리콘(Si) 기반의 전구체인 ‘HCDS(Si₂Cl₆)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 프리커서 ‘Cp-Zr’ 등을 출품했다.

HCDS(Si₂Cl₆)은 반도체 칩 생산 공정에 필요한 고순도 전구체로 고품질의 실리콘 산화막이나 질화 실리콘 박막 증착을 추가하면 실란 또는 디클로로실란의 저온 대안 물질로 활용할 수 있는 것으로 알려져 있다.

이들 전구체 제품은 최근 반도체 미세화공정화의 흐름과 3D 핀펫(FinFET) 등 신기술이 도입되면서 사용량이 급격히 증가하고 있고, 고객사의 수요도 다양화 되고 있다.

이런 가운데 원익머트리얼즈는 지난 8월 HCDS 및 HCDS 합성기술을 활용한 Si 베이스 전구체 국산화를 추진하고 고객사의 요구에 대응 가능한 신규소재 개발 능력 확대를 위해 279억원규모의 신규 시설 투자를 공시한 바 있다.

이 시설에서는 HCDS합성 및 정제시설과 기타 전구체를 생산하게 된다.

한편 원익머트리얼즈는 NH₃(암모니아), NO(일산화질소), N₂O(아산화질소), GeH₄(사수소화게르마늄), Si₂H6(디실란) 등 특수가스를 반도체, LCD, LED, AMOLED 산업에 공급하고 있다.

최근 삼성디스플레이 AM OLED 라인 가동률이 증가하면서 이와 관련된 매출에서 수혜를 볼 것으로 기대되고 있다.