▲ 어플라이드 프로듀서 셀렉트라 시스템.

어플라이드머티어리얼즈는 원자 수준의 정밀도와 초고선택비를 제공하는 식각 장비인 ‘어플라이드 프로듀서 셀렉트라’를 출시했다고 30일 밝혔다.

박막에서 다른 층에 영향은 주지 않으면서도 고도의 집약도로 특정 타켓 물질을 제거해야하는 식각공정은 반도체 미세화에 따라 기존의 공정만으로는 모서리에 손상이 생기거나 불필요한 잔여물이 남는 단점이 있었다.

또한 이러한 문제는 식각 후 세정 및 건조 과정에서 미세구조내의 모세관 힘에 의해 구조물이 붕괴 되거나 서로 달라붙는 스틱션 현상을 야기해 최종적으로는 밴딩, 패턴 붕괴의 문제까지 만들어 높은 정확도를 가지는 식각시스템이 요구되고 있었다.

어플라이드머티리얼즈는 이러한 업계의 문제점에 대응해 정확한 잔여물 처리와 다른 물질에 손상을 주지 않고 타겟 물질을 식각하는 셀렉트라 시스템을 선보였다.

패터닝과 로직, 파운드리, 3D낸드, D램 등 미세공정 칩 생산 시장에서 셀렉트라 시스템은 가장 작은 공간으로까지 침투해 다양한 종류의 유전체, 금속, 반도체 등 표면에서 원자수준의 식각 정밀도와 역대급 선택비를 제공하는데 물질마다 선택비 차이는 있지만 리콘(Si)과 질화티탄늄(TiN) 경우 5000대 1의 선택비를 제공하기도 한다.

어플라이드머티어리얼즈는 이번 출시된 '어플라이드 프로듀서 셀렉트라' 시스템을 통해 반도체 업체들이 앞선 기술의 3D디바이스 생산과 새로운 아키텍처와 반도체 재료를 시도해 볼 수 있는 기회를 제공할 것으로 기대하고 있다.

어플라이드머티어리얼즈 식각 장비 부문 부사장 샨카 벤카타라만(Shankar Venkataraman) 박사는 "고집적도 칩 생산이 점차 어려워지는 이유 중 하나는 다층 구조상에서 다른 층의 물질을 손상하지 않고 원하는 물질을 선택적으로 식각해야 하기 때문"이라고 밝혔다.

이어 "셀렉트라 시스템은 무어의 법칙 구현에 요구되는 높은 수준의 선택비(Selectivity)를 제공하는 가장 최신의 혁신적인 반도체 장비로, 새로운 시장 기회를 제공할 것으로 기대한다"고 말했다.