▲ 전자빔 검사 장비 ‘어플라이드 프로비전(Applied PROVision™)’.

10나노 이하 멀티패터닝, 핀펫 구성, D램 및 3D 낸드 소자에서 연구와 조사 수요를 충족시키기 위한 고 분해능의 전자빔 장비가 출시된다.

어플라이드머티어리얼즈(AMAT, 한국 지사장 강인두)가 12일 차세대 전자빔(e-beam) 검사 장비 ‘어플라이드 프로비전(Applied PROVision™)’ 시스템을 출시한다고 밝혔다.

최근 차세대 노드(node)로의 변화를 꾀하고 있는 주요 파운드리, 로직, D램 및 3D 낸드 제조사가 필요로 하는 초고도 분해능(resolution) 및 이미지 품질을 가장 빠른 처리량으로 제공하는 것이 장점이다.

업계 최초로 1나노 미만 분해능을 갖춰 타 기술로는 검출이 불가한 초미세 불량을 감지할 수 있다. 기존 장비 대비 3배 이상 빠른 처리량, 팹제품생명주기 전반에 걸쳐 수율에 영향을 미치는 불량도 찾아낼 수 있고 높은 수율로 공정 마진을 달성할 수 있다.

어플라이드머티어리얼즈 이미징 및 공정 관리 사업부 총괄 매니저 겸 부사장 밥 펄머터는 “‘어플라이드 프로비전’은 최근 전자빔 검사 장비 포트폴리오에 추가된 시스템으로 성장 전략의 역할을 하고 있다”며, “특히 이 시스템은 고객사들의 새로운 계측 방식과 함께 쓰일 때 연구개발 사용 수준을 넘어서 생산 환경에서도 최적의 성과를 발휘할 수 있도록 돕는다”고 말했다.

한편, ‘어플라이드 프로비전’ 시스템은 기존 자사 전자빔 측정계측 및 검사 제품과 광학 패턴 웨이퍼 계측 생산 라인 보완도 가능하다. 이미 주요 파운드리 및 메모리 반도체 제조사들로부터 재주문을 포함해 12개 이상을 출하하며 성공을 거두고 있다. 해당 제품은 올 하반기에 추가로 기존 및 신규 고객사에게 인도될 예정이다.