반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤(사장 토마루 히토시)이 최근 개발한 어널링용 신형 KrF(불화크립톤) 엑시머 레이저를 지난 11월부터 대형 패널 제조업체 양산라인에 적용해 평가를 시작한다고 7일 밝혔다.

신형 KrF 엑시머 레이저는 기가포톤의 새로운 브랜드 ‘GIGANEX’ 시리즈의 일환으로 600W의 고출력을 자랑한다. 이에 대형 패널의 고화질화에 대한 수요가 높아지는 국내외 패널 제조업체들로부터 어닐링용 광원으로 주목을 받고 있다.

기가포톤은 신형 KrF 엑시머 레이저 양산기를 2017년 여름에 출하한다는 계획이다.

토마루 히토시 사장은 “당사가 개발하는 신형 KrF 엑시머 레이저가 GIGANEX 시리즈의 라인업에 추가되었기 때문에 보다 다양한 고객의 니즈에 대응할 수 있을 것으로 기대한다”며 “GIGANEX 시리즈는 앞으로도 평면디스플레이(FPD) 업계를 비롯한 다양한 분야에서 가치 있는 솔루션을 제공해 나가겠다”고 말했다.