▲ 새로운 임프린트 리소그래피 기술로 제작한 다양한 구조체.

국내 연구진이 빛을 이용해 물질을 수직으로 끌어올려 마이크로-나노 구조체를 제작하는 방식을 개발했다. 복잡하고 정교한 구조를 이전보다 훨씬 손쉽게 제작할 것으로 기대된다.

한국과학기술원(KAIST)는 김희탁 생명화학공학과 교수 연구팀이 새로운 형태의 임프린트 리소그래피 기술을 개발했다고 지난 9일 밝혔다.

임프린트 리소그래피란 모형을 마치 도장을 찍듯이 각인하고자 하는 물질에 찍어 마이크로-나노 구조체를 제작하는 기술이다. 경제적이고 손쉽게 마이크로-나노 구조 제작이 가능해 기존의 포토리소그래피 기술을 대체할 유망한 리소그래피 기술로 손꼽힌다.

그러나 열, 용매, 자외선 등을 필요로 하는 기존의 임프린트 리소그래피 기술은 물질을 수축시키는 특성이 있어 정확한 구조를 제작하기 어렵다는 한계가 있다.

연구팀은 문제 해결을 위해 가시광선 영역의 빛을 아조벤젠 고분자 물질에 조사했다. 이를 통해 아조벤젠 물질을 수직방향으로 끌어올려 마이크로-나노 구조체를 형성하는 새로운 형태의 광유도 임프린트 리소그래피 기술을 개발했다.

아조벤젠 물질은 빛이 편광하는 방향에 따라 액화돼 흐르는 독특한 특성을 갖는다. 이는 편광 방향을 조절한다면 아조벤젠 물질의 움직임을 통제할 수 있다는 뜻이다.

기존의 아조벤젠 물질을 이용한 구조체 제작은 수평 방향으로 흐르는 현상에만 주목해 수직방향으로의 유체화 현상에 대한 이해와 이를 이용한 구조 제어는 거의 이뤄지지 않았다.

연구팀은 아조벤젠 물질을 움직임을 수직방향으로 유도했다. 빛의 수직방향 편광 성분에 의해 수직으로 흐를 수 있게 만들었고 이 흐름이 각인된 모형의 빈 공간을 채우며 마이크로-나노 구조체를 형성하게 된다.

연구팀이 개발한 임프린트 리소그래피 기술은 기존 기술이 갖고 있던 물질의 수축 문제를 극복해 100 나노미터 이하의 나노 구조체까지 구현하는 데 성공했다. 또한 마이크로-나노 구조체가 결합된 다중 규모의 복잡하고 정교한 구조도 제작했다.

연구팀은 앞으로 수직방향의 아조벤젠 물질의 움직임을 이용해 여러 응용분야에 쓰일 정교하고 다양한 마이크로-나노 구조체를 쉽게 제작하는 데 크게 기여할 것이라고 예상했다.

김 교수는 “아조벤젠 물질이 수평방향으로만 물질 이동을 한다는 기존 틀을 깨고 수직방향 이동을 규명했다”며 “이를 이용해 한 층 진보된 형태의 임프린트 리소그래피를 선보였다는데 의의가 있다”고 말했다.

한편, 이번 연구는 KAIST의 엔드-런(End-Run) 프로그램의 지원을 받아 수행됐으며 재호 박사과정이 1저자로 참여했다. 또한 나노기술분야 국제 학술지 ‘에이씨에스 나노(ACS Nano)’ 1월 12일자 온라인 판에 게재됐다.