▲ 린데코리아 부스 전경.

린데코리아가 올해 N₂O(아산화질소) 생산시설을 증설하는 등 전자가스 제조 및 공급 역량 확대에 본격적으로 나선다.

린데코리아는 지난 8일부터 10일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최된 ‘세미콘코리아 2017’에 참가했다.

이번 전시회에서 린데는 전자가스 역량을 수요기업들과 소비자들에게 적극홍보했다.

특히 N₂O 공급역량을 중점적으로 설명했다. 린데 관계자에 따르면 현재 N₂O 투자 확대를 검토 중인 것으로 알려졌다. 증설 규모는 약 2배 정도로 이번 투자를 통해 N₂O 생산 및 유통에서 시장 지배력을 강화한다는 방침이다.

린데는 국내에서 N₂O를 가장 많이 생산하는 기업으로 연간 고순도 3,000톤, 저순도 2,600톤으로 총 5,600톤의 N₂O를 생산하고 있다. 충남 아산 외국인 산업단지에 공장을 갖추고 있으며, 생산시설을 비롯해 충전, 정제, 저장 설비 등을 구축하고 있다.

반도체·디스플레이 산업에서 N₂O는 SiO₂막을 형성하는데 사용된다. 이런 N₂O는 과거 의료용으로 안정적인 수요를 유지해 왔으나 최근 반도체, LCD 등 전자산업의 급속한 성장에 힘입어 그 수요가 점차 늘어나고 있다.

▲ 린데에서 F₂온사이트 사업을 담당하고 있는 전용옥 부장이 회사의 기술에 대해 설명하고 있다..

또한 린데는 F₂ 가스의 공급역량에 대해서도 중점적으로 홍보했다. 린데는 세계에서 유일하게 F₂를 100% 온사이트로 수요처에 공급할 수 있는 기업이다.

F₂는 실리콘(Si) 디퓨전 공정, TFT-LCD 챔버 세정의 기존 사용처 외에 에칭(식각)용 등으로 그 용도가 확대되고 있으며, 이미 실리콘 박막 제조공정에 대한 F₂ 적용 평가에서 사용가능성을 입증 받았다.

F₂의 장점은 안정적인 공급이 가능하며 공급가격도 ㎏당 20달러대로 경쟁 가스인 NF₃(삼불화질소)대비 2/3 수준이라는 점이다. 또한 클리닝 타임도 NF₃에 비해 최대 70% 절감할 수 있다.

특히 F₂시장의 확대를 예상케하는 가장 직접적인 요인은 바로 환경문제로 온난화지수가 제로(0)라는 점이다. 이러한 장점을 바탕으로 린데는 SK하이닉스의 M14 팹에 F₂온사이트를 확대 적용한바 있다.

한편 린데코리아는 100가지가 넘는 특수가스와 혼합가스를 제공하고 있다. 최첨단 생산설비와 공정 관리, 풍부한 글로벌 네트워크를 통해 고객의 고순도 및 엄격한 품질 요구를 만족시키고 있다.