▲ 미립자 가시화 시스템 전시 시연 모습.

신성이엔지가 ‘미립자 가시화 시스템 기술’을 통해 정밀 산업현장에서 생산 제품의 품질 저해요소인 ‘파티클(Particle)’을 직접적으로 확인할 수 있는 길을 열었다.

신성이엔지는 지난 10월11일부터 13일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최된 ‘2017 국제 신소재 및 응용기술전’에 참가해 ‘미립자 가시화 시스템 기술’을 선보였다.

신성이엔지가 이번에 선보인 ‘미립자 가시화 시스템 기술’은 생산 제품 품질 저해요소인 ‘파티클’을 여러 오염 진단 시스템으로부터 간접적으로 확인하는 것에서 벗어나 발생 원인을 직접 확인해 직관적인 해결책을 도출하기 위한 기술이다.

시스템은 입자가 레이저 시트를 통과할 때 카메라를 통해 미립자 가시화 성능을 최대화해 미약한 빛을 전기적 노이즈 없이 증폭하는 기술이다.

이 시스템은 1m이상의 대면적에서 5㎛의 파티클을 검색할 수 있는 가시화 성능을 보이며, 약 20㎝ 이내의 소면적에서는 0.5㎛의 파티클을 가시화 할 수 있다.

활용 대상으로는 △Coater, Photo Line, Sputter, CVD 등 중요 공정 장비 내부의 파티클 발생/이동 진단 △장비 동작 중에 발생하는 오염원/발생 동작 파악 △클린룸 외부환경에서 생산장비 내부로의 파티클 유입 여부 검사 △클린룸 기류 및 오염원 확산 검사 △작업자에 의한 오염 검사 △조건 변화에 따른 파티클 변화 검사 △진공장비 내부 파티클 발생 및 확산 여부 검사 △국소 배기 장치 등 오염제거 장치의 성능/효과 검사 △이오나이저 파티클/열 유동에 의한 흄 확산/기타 파티클 거동 확인 등이 있다.

신성이엔지 관계자는 “이 기술을 통해 정밀 산업 현장에서 요구하는 파티클 원인 차단에 기여할 것으로 기대되며, 제품 불량 및 경제적 손실을 방지하는데도 큰 역할을 할 것으로 기대한다”고 전했다.