반도체 공정 미세화에 따라 업계가 수율 향상에 대한 고민이 날로 깊어지고 있는 가운데, 인테그리스가 이를 가장 효과적으로 해결할 수 있는 오염방지 및 세정 솔루션을 강화하고 있다. 특히 반도체업계에 신소재 도입이 빠르게 진행되면서 수요기업과 소재 관리 및 세정 솔루션 개발을 위한 협력을 강화하고 한국시장에 투자를 확대한다는 계획이다.

세계적인 특수가스·케미컬 및 첨단소재 세정처리 솔루션 선도기업 인테그리스의 한국법인 인테그리스코리아(대표 홍완철)는 1월30일 기자간담회를 개최하고 반도체 등 산업용 액체 입도측정기 전문기업 PSS社 인수 및 ArF, KrF, 극자외선(EUV) 등 노광장비 오염 물질 제거 멤브레인 ‘Oktolex™’ 출시를 발표했다.

반도체 공정이 올해 10나노미터(nm)이하로 접어듬에 따라 업계는 수율 향상에 대한 고민이 더욱 커지고 있다. 공정상 불량과 직결되는 파티클을 잡아내야 하는데 현재 측정장비로는 이제 더 이상 볼 수 없는 수준에 다다른 것이다. 10나노 공정에 접어들면서 5나노 파티클을 잡아내야하는데 이는 대한민국 전체에서 10원 짜리 동전 2개를 발견하는 것과 같은 것이다. 현재 기술로선 이것이 불가능하고 측정장비도 비쌀 뿐더러 검사 시간을 고려하면 비효율적이다.

때문에 반도체 업계는 불량률 관리를 사후측정이 아닌 사전예방에 집중하고 있다. 예를 들면 고기능 필터를 적용한다든가 웨이퍼나 가스 및 케미컬 이송 중 오염을 최소화하거나 장비오염을 방지하는 장치를 도입하는 것이다. 또한 D램 미세화는 물론 낸드플래시 구조가 3D로 바뀌고 적층 높이도 100단 돌파에 이르면서 신소재가 적용되면서 이를 고순도화 및 관리하는 솔루션도 활발히 도입 중이다.

이러한 업계의 요구에 대응하기 위해 오염방지 및 세정 솔루션을 공급하고 있는 인테그리스는 △가스 및 케미컬 △필터 △밸브 및 튜브 등 3가지 주요 사업을 통해 반도체 수요기업 맞춤형 솔루션을 제공하기 위해 투자를 확대하고 있다.

이번에 PSS를 인수한 것도 이러한 차원에서다. 웨이퍼를 평탄화시키는 CMP공정 중 슬러리 마모 입자가 응집하면서 스크래치 불량이 종종 발생하는데, PSS의 입도측정 솔루션을 사용하면 실시간 온라인으로 슬러리내 모든 입도를 분석할 수 있어 적절한 필터 선택 및 시스템 유지관리가 가능하다.

‘Oktolex™’는 반도체 미세화로 공정에 적용되는 ArF, KrF, 극자외선(EUV) 등 노광장비 보호를 위해 특정 광화학적 오염 물질을 제거할 수 있는 멤브레인 솔루션이다. 한 대에 몇 천억씩 하는 장비를 화학적 조성을 변화시키지 않으면서 보다 빠르고 효율적인 관리가 가능해지면서 반도체 수율 향상에 기여하는 것이다.

인테그리스는 반도체 경기 활성화로 삼성전자, SK하이닉스 등 주요 고객사의 수요가 늘어남에 따라 한국시장을 세계 주요시장으로 점찍고 투자 및 고용확대에 나서고 있다. 현재 인테그리스코리아는 원주공장에서 밸브와 피팅, 배관 같은 유체를 관리하는 부품을, 장안공장에서는 임플란스 가스 실린더와 유통패키지, 습식화학물질, 3D 교체 라이너 등을 생산하고 있다. 수원에 구축한 한국기술센터(KCT)에서는 클린룸을 갖추고 습식화학물질, 증착화학물질, 케미칼 필터/정제분석 및 연구개발을 추진 중이다.

홍완철 인테그리스코리아 대표는 “지난해 주요 고객사의 팹 증설이 추진되면서 회사 매출이 50%, 고용이 30% 이상 늘어날 정도로 호황을 맞이했으며 이러한 분위기는 올해도 이어질 것으로 전망한다”며 “한국 반도체기업들의 선전으로 국내 생산시설은 아시아 지역 주요 공급거점으로 자리매김하고 있으며 인테그리스코리아는 고객사가 원하는 맞춤형 솔루션 개발을 위한 협업과 인프라 구축을 위해 투자와 고용을 지속 추진할 계획”이라고 밝혔다.

이밖에 인테그리스코리아는 반도체 임플란트 공정에 사용되는 포스핀, 보론 등 임플란스 가스를 안전하게 공급하는 실린더와 유통패키지 ‘SDS®’, ‘VAC®’ 등 제품은 물론 저메인(Ge) 등 프로세스 가스를 정제해 고순도화하는 사업군에 대한 투자도 확대한다는 계획이다.

한편 인테그리스코리아는 1월31일부터 2월2일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2018’에 부스를 마련하고 향후 시장 성장 가능성이 높은 3D낸드 제품에 필요한 솔루션을 중심으로 중점 홍보할 계획이다.