▲ 후성의 NF₃ 제품. 후성의 NF₃ 제품

반도체용 특수가스 및 냉매 전문공급기업인 (주)후성(대표 송한주)이 최근 삼성반도체에 삼불화질소(NF₃) 공급을 개시한 것으로 전해지고 있다.

이번 공급으로 후성은 품질기준이 엄격한 삼성반도체 공급에 따라 품질의 우수성을 입증하는 계기를 마련했다는 평이다.

회사에 따르면 후성은 삼성반도체  NF₃공급에 앞서 그동안 원익머트리얼즈를 통해 삼성SDI에 공급해 왔다.

하지만 최근 후성은 반도체 특수가스 최대 수요처인 삼성전자에 1년여의 평가 기간을 거쳐 품질 승인을 획득해 단독으로 공급하게 됐다.

후성은 최근 삼성반도체 K-15라인 공장에 NF₃초도공급을 시작했으며 연간 180톤 규모의 NF₃ 공급이 이뤄질 것으로 예상하고 있다.

NF₃는 반도체·LCD 생산 중 CVD 공정에서 기판에 증착되지 않고 장비 내벽에 묻은 잔류물을 제거하는 데 사용되며 모노실란·헬륨과 함께 반도체·LCD 생산에 사용되는 특수가스 중 가장 많은 양을 차지한다.

한편 후성은 지난 2008년 12월 연간 총 600톤 규모의 NF₃ 생산시설을 갖췄다. 이는 국내를 비롯 전 세계 반도체, LCD, 태양광시장의 급성장으로 NF₃ 수요가 급증할 것을 예상, 시장수요에 부응하기 위해 증설한바 있다.

아울러 후성은 고부가 무기불화물인 반도체용 특수가스 등 다양한 분야까지 투자를 확대할 계획도 가지고 있다.

후성은 최근 냉매 관련 친환경 대체재 개발을 가속화하는 동시에 NF₃·WF6·C4F6 등 반도체용 불산의 증산에 박차를 가하고 이를 통해 동종업종의 선도기업으로 자리매김한다는 계획이다.