반도체 장비 부품 및 화학 소재 전문 기업 메카로(대표이사 이재정)가 전구체 기술 발전에 공헌한 공로를 인정받았다.

메카로는 자사의 지르코늄 전구체(ZM40) 제조 기술이 특허청이 주관하는 ‘2018년 상반기 특허기술상 충무공상’을 수상했다고 27일 밝혔다.

이번 수상 대상이 된 특허는 ‘지르코늄(Zr) 금속을 함유하는 신규 유기금속화합물 및 그 제조방법’에 대한 것으로, 메카로는 국내 최초로 지르코늄 전구체 개발 양산에 성공한 바 있다.

메카로 관계자는 “전 세계 고유전체(high-K) 시장에서 유일한 국내 기업의 특허제품으로 기존에 적용된 해외 기술보다 균일하고 우수한 물성의 박막제조가 가능하다”며 “이 기술을 통해 발생한 매출은 지난해까지 약 1,100억원 수준”이라고 밝혔다.

메카로의 지르코늄 전구체는 디램(DRAM) 핵심 요소인 커패시터(Capacitor)에 증착돼 전류 누설과 간섭을 막는다. 이는 21나노 이하 디바이스 선폭에 적용되는 소재로 디램 필수 물질이다.

2011년 지르코늄 전구체 개발에 성공한 이후 관련 사업은 지난해 기준 전체 매출액의 78.7% 비중을 차지하며 실적 성장 견인의 주요 요인으로 성장했다.

지난해 메카로의 별도 실적은 매출액 1,060억3,800만원, 영업이익은 433억8,800만원, 당기순이익은 321억4,100만원으로, 전년 동기 대비 매출액 120.3%, 영업이익 1300.2%, 당기순이익 998.6% 폭발적으로 증가했다.

올해 1분기에도 성장세는 이어져, 전년 동기 대비 매출액 52.6%, 영업이익 107.5%, 당기순이익 132.6% 성장했다.

메카로의 별도 기준 올해 1분기 실적은 매출액 305억, 영업이익은 119억, 당기순이익은 98억원이다.

회사는 미국, 중국, 일본, 대만 등 해외 시장 진출을 통한 고객사 확대 및 제품 다양화에 매진하고 있고 26일에는 제10회 대한민국코스닥대상 시상식에서 최우수차세대기업상을 수상한 바 있다.