▲ 윌리암 송 한국메티슨특수가스 대표이사

한국메티슨특수가스(대표 윌리암 송)가 특수 가스 합성 공장 신규 가동을 통해 반도체용 특수가스 시장을 확대하고, 향후 추가 투자를 통해 외형 확대에도 본격적으로 나선다.

메티슨특수가스는 충남 아산에 식각가스인 CH₃F(플루오로메탄)와 B₂H6(다이보레인)의 합성공장을 최근 완공했으며, 본격적인 시험가동을 거쳐 생산에 들어갈 계획이다.

CH₃F은 반도체 공정에서 실리콘 화합물 막의 플라즈마 에칭에 사용되는 특수가스로 최근 반도체 미세화와 3D 낸드의 고적층화에 따라 수요량이 증가하고 있다.

CH₃F은 인화성이 매우 높고, 독성이 강한 불화수소가 생성이 되기 때문에 공정의 난이도가 까다로우며, 안전관리가 매우 중요하다.

메티슨특수가스가 이번에 완공한 합성공장의 CH₃F의 생산량은 연간 50톤 규모로 단일 공장으로는 세계 최대 규모의 생산량이다.

B₂H6은 중요한 도핑 응용 분야에 사용하는 핵심 가스로 첨단 반도체 및 태양광 공정에 사용하는 가스다. 다양한 반도체 블랭킷 및 적층 증착 공정에서 in-situ 방식의 도핑 물질로 사용된다. 아르신, 포스핀이 주로 n형 반도체에 사용되는 반면 B₂H6은 p형 반도체에 많이 사용되고 있다.

메티슨특수가스 관계자는 국내 수요를 충분히 충당할 규모로 B₂H6를 합성할 수 있다고 전했다.

메티슨특수가스는 국내에서 CH₃F, B₂H6의 경우 주로 유통을 진행해왔으나 이번 합성공장 가동을 통해 본격적으로 물량 확대와 함께 국내 고객사의 주문에 적극적으로 대응할 수 있게 됐다.

투자는 기존 아산 공장 부지 내에 반도체 제조용 특수가스 생산 공장을 확대하는 것으로 여기서 생산되는 특수가스는 반도체 및 LCD 제조 공정 전반에 걸쳐 사용되는 순도 99.999% 이상의 초고순도 물질이다. 여기서 생산된 특수가스는 국내외의 주요 반도체·LCD 제조사에 공급될 예정이다.

투자를 통해 신규 매출, 신규 고용, 수입대체 및 수출증가 효과등이 예상되고 있으며, 이번 투자 실행을 통해 국내 반도체 업계에 공헌하고, 지역 경제 활성화에도 도움을 줄 것으로 보인다.

이번 투자는 지난 2017년 충청남도와 아산시, 메티슨트리가스(Tri-Gas, Inc.)가 투자협약을 체결한데 따른 후속 조치다.

이와 함께 메티슨특수가스는 본격적으로 2022년까지 5,000만달러 투자에 나설 계획이다.

이런 가운데 메티슨특수가스는 글로벌 기업으로서의 규모 확대에도 적극 나서고 있다.

메티슨특수가스의 글로벌 지주회사인 일본의 산업용가스 공급 기업 타이요 닛폰 산소(TNSC)는 프렉스에어의 유럽 자산 대부분을 최근 인수한 바 있다.

이는 프렉스에어와 린데의 합병으로 인한 EU 내에서의 독점 우려를 해소하기 위해 이뤄졌다.

TNSC는 프렉스에어의 벨기에, 덴마크, 프랑스, 독일, 아일랜드, 이탈리아, 네덜란드, 노르웨이, 포르투갈, 스페인, 스웨덴, 영국 등의 산업가스 사업체 및 2,500명의 직원을 인수했다.

이 자산들의 2017년 연간 매출은 약 13억 유로에 달하는 것으로 알려졌다.

TNSC는 1983년에 특수 가스 제조업체로 알려진 메티슨 가스 프로덕츠(Matheson Gas Products, Inc.)를, 1992년에 산업용 가스 제조업체인 트리가스(Tri-Gas, Inc.)를 인수해 1999년 메티슨트리가스(Matheson Tri-Gas)를 발족한 바 있다.

2014년에 미국 주요 탄산가스 업체 인 콘티넨탈 카보닉 프로덕츠(Continental Carbonic Products, Inc.)를 인수하고 2016년에는 에어리퀴드에서 미국의 일부 사업 및 자산을 인수해 산업 가스 네트워크 중서부의 강화와 동부에 진출하며 국제적인 공급업체의 지위를 구축중이다.

아시아에서는 말레이시아, 태국, 중국, 필리핀, 한국, 대만, 베트남, 인도, 인도네시아, 미얀마 등으로 진출하고, 2014년에는 싱가포르, 2015년에는 중국 지역 총괄 회사를 설립했다.

2015년에는 M&A를 통해 호주의 산업 가스 시장에 진출하는 등 현재 19개국에서 가스 사업을 전개하고 있다.

한국에서는 메티슨특수가스를 통해 삼염화붕소(BCl₃), 브롬화수소(HBr), 염소(Cl₂) 등 반도체 생산라인에 필수적인 특수가스를 생산해 공급하고 있다.

이와 함께 국내외 주요 반도체 및 LCD제조사의 해외 공장 설립 및 확장에 대응해 중국, 일본, 미국에 국제 물류 허브 설립을 통한 지속적이고 안정적인 해외 공급망을 확장하고 있다.

우수한 생산설비, 분석설비를 토대로 보다 완벽한 제품을 만드는데 최선을 다해 반도체용 특수가스 시장의 초석을 이루고 있다.