▲ KRISS 가스분석표준센터 연구진이 ‘표준가스 제조용 전자동 무게 측정기술’을 통해 가스의 질량을 측정하고 있다.

한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박상열)이 일본의 수출규제 대응을 위해 컨트롤타워를 구축하고 반도체 공정가스 품질평가 체계 구축 등을 통한 기업 지원에 나선다.

KRISS는 지난 6일 ‘일본 수출규제 적극대응 위원회’를 구성하고 1차 위원회를 개최했다고 밝혔다. 이날 박상열 KRISS 원장은 국가적 사안 해결에 출연(연)으로서의 책임을 강조하며, 일본의 수출규제에 대한 대응에 동참할 것을 요청했다.

위원회에서는 수출규제와 관련된 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등 KRISS의 측정기술역량을 극대화할 수 있는 분야에 중점을 맞춘 전략이 도출됐다.

이의 일환으로 KRISS는 △불화수소(HF) 등 반도체 공정가스 품질평가 지원체계 마련 △교정·시험서비스 패스트트랙 운영 △반도체 및 첨단소재 신뢰성 평가 플랫폼 운영 △웨이퍼 불순물 측정분석장비 국산화를 위한 원천기술 및 장비화 기술개발 연구기획 등으로 분야를 세분화해 체계적인 지원에 나설 계획이다.

현재 KRISS는 세계 최고수준의 국가측정표준과 측정기술을 바탕으로 연간 1만여 건의 교정·시험서비스를 국내·외에 제공하고 있다. KRISS는 국내 기업이 수출규제와 관련된 소재부품, 장비 등에 대한 신뢰성 평가를 요청하는 경우, 최우선적으로 교정·시험서비스를 처리할 수 있는 패스트트랙을 운영하기로 했다.

KRISS는 불화수소 등 고순도 가스의 품질평가 설비를 구축하고 있으며, 과학기술정보통신부에서 진행 중인 반도체 측정장비 국산화 사업에도 참여하고 있다. KRISS는 국산화율을 높일 수 있도록 고순도 가스 및 반도체 소재에 대한 신속하고 정확한 평가결과를 제공할 계획이다. 특히 불화수소 불순물 및 순도평가(99.9999% 수준) 기반을 6개월 이내에 마련해 불화수소의 국산화 및 수입 다변화에 대응한다는 계획이다.

박상열 원장은 “현 상황을 고려했을 때, 기존 연구와 서비스는 보류하더라도 일본 수출규제 문제 해결에 집중할 필요가 있다”며 “기관차원의 대응체계를 통해 종합적인 대책을 마련함으로써 이번 사태에 대한 정부출연연구원으로서의 역할에 충실하겠다”고 밝혔다.