▲ 정승일 산업부 차관(中)이 동진쎄미켐을 방문해 생산현장을 둘러보고 애로사항을 청취했다.

반도체 및 디스플레이 첨단소재기업인 동진쎄미켐이 일본 수출규제 대상 품목인 반도체용 포토레지스트 생산을 2배로 늘리며 공급안정성에 기여할 전망이다.

산업통상자원부는 정승일 산업통상자원부 차관이 15일 경기도 화성시에 위치한 동진쎄미켐 생산공장을 방문해 포토레지스트 국내생산 현장상황을 공유하고 기업 현장애로 의견을 수렴했다고 밝혔다.

반도체 핵심소재 중 하나인 포토레지스트는 반도체·디스플레이 제조과정에서 웨이퍼(기판) 위에 전자회로 패턴형성을 위해 사용되는 감광재다. 반응하는 빛의 파장에 따라 주로 KrF(불화크립톤, 248nm), ArF(불화아르곤, 193nm), EUV(극자외선, 13.5nm)용 등으로 구분되며, 반응하는 빛의 파장이 짧을수록 공정 미세화가 가능하다.

동진쎄미켐은 EUV포토레지스트의 바로 전(前) 단계인 반도체용 ArF-immersion(불화아르곤 액침) 포토레지스트를 국내 최초로 개발·생산한 반도체·디스플레이용 소재 전문기업으로, 1분기중에 KrF(불화크립톤), Arf(불화아르곤) 등 포토레지스트 생산공장 증설을 착공할 예정이다.

증설공장이 계획대로 완공 후 내년 초 정상가동되면 동진쎄미켐은 국내 포토레지스트 생산량은 현재보다 2배 이상 확대된다.

산업부는 이번 동진쎄미켐의 포토레지스트 증설로 일본에 대한 수입의존도가 더욱 낮아지고 공급안정성을 확보할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 포토레지스트 대일 수입비중은 지난해 7월 이전엔 92%에 달했으나 이후 85%로 낮아졌으며 벨기에, 미국, 독일의 수입액은 늘고 있다.

또한 최근 듀폰이 국내 천안공장에 EUV용 포토레지스트 개발·생산시설 등 구축하는데 2,800만달러를 투자하기로 최종 결정했다. 산업부는 ArF-immersion 고도화 기술 개발 등 포토레지스트 R&D에 총 230억원을 지원하는 등 기술력을 확보해 나갈 예정이다.

이날 정 차관은 “지난해 7월 일본 수출규제 이후 민관이 힘을 합쳐 노력해 온 결과, 포토레지스트를 포함하여 3대 품목 등 핵심소재의 공급안정성이 확보되어 가고 있다”면서 “1분기 내 동진쎄미켐의 생산공장 증설 착공 등으로 포토레지스트의 국내 공급 안정성이 한층 더 강화될 것으로 기대한다”고 밝혔다.

이준혁 동진쎄미켐 대표는 “생산공장 증설이 신속하게 착수될 수 있었던 것은 정부의 대규모 R&D 투자, 공장증설용 토지에 대한 신속한 용도변경 등 범정부적 지원이 있었기 때문에 가능했다”고 화답했다.