반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤이 출력 확대와 빔 균일성을 개선한 신형 레이저를 선보인다.

기가포톤은 2020년 신기술을 채택한 최신 반도체 제조 리소그래피용 광원, ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’와 KrF 레이저 ‘G60K’의 2기종을 신제품으로 라인업 한다고 21일 발표했다.

최근 IoT 보급과 AI의 실용화로 반도체 용도가 확대됨에 따라 반도체 칩에는 통신 속도의 고속화와 더 많은 양의 데이터 처리가 요구되고 있다.

특히 2020년에는 5G(제5세대 이동 통신)의 일반용 서비스가 확대되고 서브10 회로 선폭으로 소형·고속·저소비 전력의 논리 IC 및 폭발적으로 증가하는 데이터를 저장할 대용량 메모리 칩이 필요하게 된다.

신형 ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’는 새로 개발된 광학 모듈을 탑재해 공간적인 코히런스를 저감해 노광면에서의 빔 균일성을 개선하는 데 성공했다.

신형 KrF용 레이저 ‘G60K’는 약 15년만에 풀 모델 체인지가 이루어지고 신형 전원 유닛을 도입해 기존 대비 1.5배의 출력이 가능해졌다. 이러한 신기술을 통해 기가포톤은 칩 제조업체를 지원한다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미는 “IoT를 도입한 산업 기기와 가전 제품의 보급, 나아가서는 AI와 5G가 가세하여 공장, 의료, 자동차, 사회 인프라 등의 다양한 장면에서 실시간화와 스마트화가 동시에 진행되고 있다. 우리는 신기술을 탑재한 신제품 라인업으로 차세대 산업계 발전에 공헌해 나가겠다”고 말했다.