▲ SKC 관계자가 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다.

종합소재기업 SKC가 90% 이상 일본에서 수입에 의존하고 있는 반도체 공정 핵심소재인 블랭크마스크를 올 하반기부터 양산을 시작해 공급안정성이 개선될 것으로 기대되고 있다.

SKC는 불화아르곤(ArF)용 등 하이엔드급 블랭크마스크(Blank Mask) 시제품을 현재 국내 수요기업과 테스트 중에 있으며, 하반기부터 본격 양산 예정이라고 20일 밝혔다. 이날 오전 정승일 산업통상자원부 차관은 천안에 위치한 SKC 블랭크마스크 공장에 방문해 이용선 SKC 부사장 등 관계자들을 격려하고 소부장 정책성과 가속화를 강조했다.

블랭크마스크는 반도체 웨이퍼에 회로를 새길 때 사용하는 포토 마스크의 원재료다. 석영유리(쿼츠) 위에 금속막, 감광막 등을 도포해 제조된다. 반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF, 248nm), ArF(193nm), 극자외선(EUV, 13.5nm)용으로 구분되는데 통상 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.

하이엔드급은 금속막과 감광막을 나노미터 단위의 얇은 두께로 여러 번 쿼츠에 균일하게 도포해야 하기 때문에 높은 기술력이 요구된다. 현재 국내에서 사용되는 블랭크마스크는 일본의 글로벌 업체 2개사로부터 90% 이상 수입에 의존하고 있으며 이에 對일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 이름을 올리고 있다.

블랭크마스크 시장 규모는 반도체 공정미세화로 인해 사용량이 증가하면서 매년 늘어나고 있다. SKC는 2018년 8,000억원 수준이었던 세계 시장 규모가 매년 7%씩 성장해 2025년 1조3000억원 수준으로 성장할 것으로 관측하고 있다.

이에 SKC는 2018년부터 총 430억원을 투자해 블랭크마스크 신규공장을 지난해 말 완공한 바 있으며, 이번 양산 품목보다 첨단제품을 양산한다는 계획이다. SKC는 이 신규공장을 반도체 소재를 생산하는 ‘SKC 반도체 소재 클러스터’로 조성하고 50% 가량에 불과한 반도체 소재 국산화율을 높인다는 계획이다.

SKC는 일본의 3대 수출규제 품목인 불화 폴리이미드에 대해 850억원을 투자해 지난해말 완공된 신규공장에서 시제품을 생산 중이며 지난 1월에는 글로벌 동박(전기차 배터리 소재) 제조업체인 KCFT를 1조2천억원에 인수하는 등 공격적인 투자에 나서고 있다.

이날 SKC 천안공장을 방문한 정승일 차관은 반도체 공정의 핵심소재인 블랭크마스크가 양산 되면, 국내 공급안정성이 개선될 것이라고 격려했다. 또한 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업들간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 금년 2,100억원 이상을 집중 지원할 계획”이라고 밝혔다.

이용선 부사장은 “정부가 신규 공장 완공에 필요한 화학물질 취급 인허가, 유해방지계획 및 공정안전관리 등 인허가 신속처리, 수입장비 할당관세 적용과 정부 R&D 등을 적기 지원해 준 것에 대해 감사”를 표하며, “국내 기업들이 소부장 정책의 추진동력을 유지할 수 있도록 소부장 협력모델에 대한 정부의 관심과 지원이 필요하다”고 건의했다.