SK머티리얼즈가 불화수소 양산에 본격 나서며, 국내 불화수소 수급 안정에 기여한다.

SK머티리얼즈는 17일 순도 99.999%의 불화수소를 양산한다고 밝혔다.

지난해 일본과의 무역분쟁으로 인해 일본이 불화수소 수출을 제한하면서 지난해 7월 불화수소 국산화 개발에 착수한지 약 1년도 안 되는 기간에 양산에 성공한 것이다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 시제품 개발에 성공한 후 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설하며, 본격적인 양산을 준비해 왔다.

SK머티리얼즈는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 계획이다.

한편 불화수소는 플루오린화 수소, 에칭가스 등으로 불리는 플로오린과 수소의 화합물로 반도체 웨이퍼에 미세패턴을 형성시키기 위한 식각공정에 사용된다.

에칭가스로 사용되는 고순도의 불화수소는 순도 99.999% 이상을 가져야한다.

불화수소는 일본 의존도가 높은 제품 중 하나로 지난해 일본에서 수출 규제를 단행하며, 국산화 필요성이 제기돼 왔다.

고순도 불화수소의 주 생산업체는 일본의 스텔라 케미파와 모리타 케미컬 등이며, 이들이 전 세계 시장의 70%를 차지하고 있다. 일본 업체들이 고순도 불화수소 공급을 좌우하는 이유는 불화수소가 질산, 염산, 황산 등 강산에 비해 반응성도 크고 인체에 끼치는 유독성 역시 심각한 물질이기 때문에 단순 정제기술 뿐 아니라 보관, 운송, 관리 등 운영 노하우를 갖추고 있기 때문으로 분석된다.

특히 기체 형태의 고순도 불화수소는 현재까지 양산 가능한 국내 기업이 없었으나 이번 SK머티리얼즈가 양산에 성공하며, 국산화에 한발 다가간 것으로 평가되고 있다.